恒运昌:公司供货诸多国产半导体设备龙头

2026-05-25 14:20:543



证券日报网3月11日讯,恒运昌在接受调研者提问时表示,公司目前已与拓荆科技中微公司微导纳米北方华创盛美上海等诸多国产半导体设备龙头开展持续稳定的合作,公司已成为薄膜沉积、刻蚀环节等国内头部设备商的战略级供应商,并为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器并提供维修等技术服务。公司自2018年开始与拓荆科技在薄膜沉积、键合等领域开展深度合作,已验证导入多款产品。公司自2022年与中微公司在刻蚀等领域合作,持续配合客户新机台开发先进产品。2025年上半年,公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破,客户结构持续多元化。

公司作为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商,目前已批量供货国内薄膜沉积设备主要企业拓荆科技微导纳米盛美上海等,也已实现对中微公司北方华创等国内刻蚀设备主要企业的批量供货。公司也正在为中微公司微导纳米北方华创盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器。2025年上半年,公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等刻蚀、离子注入、清洗去胶等细分领域客户的销售收入突破。

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