在半导体产业链的深处，有一家企业用二十余年的坚守，诠释着"至纯"二字的分量。上海至纯洁净系统科技股份有限公司，从2000年创业之初的"1.5人"团队，到如今近两千人的科创中坚，始终围绕"关注核心工艺，服务关键制程"的战略，在国产替代的道路上默默攀登。
从系统集成到制程设备的跨越
至纯科技的发展，是一部从"沙漠"走向"生态林"的产业变迁史。创始人蒋渊曾用一幅海边岔路的图景形容企业的选择：往前开，不费劲，但海水漫上来便会淹没；向上爬坡，虽要做功，却能存续。2015年，公司毅然投入巨额预算研发湿法设备，彼时中高端湿法设备95%以上被国外厂商垄断。正是这次"向上爬坡"的抉择，让至纯科技从一家高纯工艺系统集成商，蜕变为国内湿法清洗设备领域的主要供应商。
如今，公司旗下至微科技已开发四大湿法设备技术平台，覆盖湿法几乎全部工艺节点。2022年推出的高温硫酸SPM设备，成为国产首台应用于大规模量产线的12英寸硫酸清洗机，单机累计产量已超90万片次；2024年发布的S300-D新平台，WPH提升30%，可覆盖至14纳米及以下先进制程。在28纳米节点，至纯已实现前中后段全工艺覆盖，在更先进制程节点正陆续替代国外厂商。
全生命周期服务，穿越产业周期
至纯科技的战略眼光，不仅在于设备的突破，更在于对晶圆厂全生命周期需求的深刻洞察。在建设投产期，公司提供制程设备与高纯工艺系统；在稳定运营期，则提供电子材料、零部件及专业服务。高纯特气系统、化学品系统、前驱体系统、研磨液系统——这些与干法、湿法工艺机台连成工作面的关键支持系统，是保障良率的核心命脉。
这种"同心圆"式的业务布局，让至纯科技能够在半导体产业的不同周期阶段保持平稳营收。截至报告期末，公司累计申请专利970件，核心客户涵盖中芯国际、华虹公司、长江存储、长鑫科技等国内一线集成电路制造企业。
国产替代的使命与定力
在全球半导体设备市场高度集中的格局下，至纯科技的每一步突破都来之不易。蒋渊坦言，"研发就是一个投资的过程"，需要用户需求牵引、能力圈支撑，更需要集结优秀人才、配置好的机制。从最初小型支持设备的开发，到如今高阶制程设备单机售价超过七百万美元，至纯用实力证明了国产装备的价值。
在中美科技博弈加剧、国家大基金三期成立的背景下，半导体设备和材料的国产化进程正加速推进。至纯科技凭借在湿法设备领域的先发优势，以及在先进制程验证中的领先地位，正迎来前所未有的发展机遇。正如蒋渊所坚信的——那片曾经的"人造林"，正在走向郁郁葱葱的"生态林"。
至纯者，不止于技术的纯净，更在于初心的纯粹。在芯片制造的微观世界里，至纯科技以"至纯"之心，守护着每一道工艺的洁净，也守护着中国半导体产业自主可控的未来。
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