中巨芯,六氟化钨+氢氟酸

2026-05-14 14:06:392
韩国半导体媒体报道,三星和海力士的氢氟酸不够了!


中巨芯公司主要从事电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料的研发、生产和销售。这些产品广泛应用于集成电路、显示面板和光伏领域的制造环节,是电子信息产业的重要支撑。公司在报告期内重点发展了电子湿化学品和电子特种气体业务,尤其是电子湿化学品板块,其产品包括电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸等,广泛应用于集成电路的清洗、刻蚀等工艺中。公司通过不断的技术创新与研发投入,提升了产品的纯度和可靠性,以满足下游客户对高品质材料的需求,确保在市场竞争中保持优势。



六氟化钨(WF₆)是目前唯一稳定量产的钨氟化物,常温下为无色剧毒气体,是半导体制造不可或缺的电子特气。

作为钨前驱体,通过化学气相沉积(CVD)在晶圆上生成高纯钨膜:

逻辑芯片(7nm 及以下):制作 ** 接触孔(钨塞)** 和局部互连线,导电性好、抗电迁移强。3D NAND 闪存:填充垂直深通孔,实现多层导电,500 层以上制程用量激增。DRAM/HBM 存储:电容与堆叠结构中的关键导电材料。硅化钨(WSi₂):用于栅极 / 配线,降低电阻。AI 芯片:用量约为普通芯片的3 倍。

中船特气:产能:2230 吨 / 年(全球最大),2027 年将扩至 3230 吨 / 年。

中巨芯:产能:800 吨 / 年(浙江博瑞中硝)

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