一、六氟化钨
核心公司:中船特气、中巨芯、昊华科技、和远气体、华特气体、南大光电
中船特气:公司六氟化钨有效产能达到2000吨/年,位居全球首位, 全球唯一能量产7N 级(适配 3nm/HBM),独家供货台积电、三星。
中巨芯:公司高纯六氟化钨由全资子公司博瑞电子与日本中央硝子合资设立的“博瑞中硝”生产(持股51%),现有产能为600吨/年。
和远气体:宜昌产业园规划500 吨 / 年(6N),2026 年 4 月完成试产,进入客户认证阶段。
二、氦气
核心公司:杭氧股份、广钢气体、凯美特气、金宏气体、华特气体、九丰能源、蜀道装备、冰轮环境、中泰股份、冰山冷热、雪人集团
广钢气体:国内最大的内资氦气供应商及国内唯一同时拥有大批量、长期协议及全球多地气源采购渠道的内资企业,公司与卡塔尔(签订了长达20年的供气长协)、美国、俄罗斯等地建立了稳定供应关系。
华特气体:国内唯一量产6N电子级高纯氦气,且同时获得ASML光刻气和清洗气双认证的特气供应商。
金宏气体:自建200万方低价氮气,6N高纯氦产能80万方,通过台积电/长鑫认证,直供中芯。
三、电子气体
核心公司:和远气体、昊华科技、三孚股份、广钢气体、凯美特气、华特气体、中船特气、南大光电、华塑股份、金宏气体、南大光电、水发燃气、九丰能源、杭氧股份、中巨芯
三孚股份:电子级二氯二氢硅(DCS):500 吨 / 年,国内市占约 30%,唯一通过台积电认证的本土供应商。
昊华科技:中化旗下含氟电子特气龙头,三氟化氮、六氟丁二烯、六氟化钨三大高景气品种,绑定中芯国际、京东方。 三氟化氮现有 5000 吨 / 年 + 在建 6000 吨 / 年,国内前三,清洗核心气。
杭氧股份:6N 电子级氦气(700 吨 / 年,2026)、氖 / 氪 / 氙,国内唯一全产业链(气源→精制→储运), 绑定长江存储。
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