半导体专用 5N/6N级电子级高纯CO₂核心用于先进制程超临界晶圆干法清洗（28nm及以下刚需工艺），下面按照已量产供货头部晶圆厂、研发在建、配套服务三大梯队划分，仅产业信息整理，不构成投资建议。
第一梯队：已实现量产+头部晶圆厂认证（核心正宗标的）
1、金宏气体 688106（国内电子级CO₂标杆）
拳头产品6N超高纯二氧化碳，已经批量供货台积电、联芯、长江存储、长鑫存储，同时进入SK海力士测试验证流程。
产品专门适配存储芯片超临界清洗工序，是目前国产厂商出货规模、客户层级最高的标的，长三角12寸晶圆厂核心供气商。
2、凯美特气 002549
依托石化尾气提纯工艺，完成5N–6N电子级二氧化碳研发与量产落地。
原有庞大食品级CO₂产能打底，延伸切入半导体特气赛道，产品配套光刻混合气、晶圆精密清洗场景，同时布局多种光刻配套特种气体。
3、华特气体 688268
国内特气品类布局最完善企业之一，自研半导体级高纯CO₂，适配刻蚀、薄膜沉积、高端光刻配套混气方案，适配ASML先进制程产线，进口替代逻辑稳固。
4、广钢气体 688548
大湾区大宗电子气体龙头，量产5N电子级二氧化碳，采用现场制气+液态供气模式，主要供给珠三角晶圆、显示面板产业链客户。
第二梯队：项目在建、规划投产，尚未大规模放量
侨源股份 301286
最新投建特种气体基地，规划建设2万吨/年电子级二氧化碳新项目，正式从医用气体向半导体电子特气升级，现阶段处于建设阶段，暂未大规模贡献半导体营收 。
第三梯队：不生产气体成品，配套供气系统/运维服务商
至纯科技 603699
不自产CO₂原料，旗下大宗气站业务，为国内多家12英寸晶圆厂搭建供气系统，集成包含电子级高纯二氧化碳在内全套大宗气体配送、纯化、管路运维服务 。
第四梯队：需要规避的普通品类企业（无半导体电子级产能）
巨化股份、中粮糖业、冰轮环境：
巨化、中粮仅布局食品级、工业级二氧化碳，纯度与杂质指标达不到芯片制造要求；冰轮环境仅提供CO₂液化提纯设备，不生产电子特气成品。
精简优先级排序（纯正度由高到低）
1. 量产落地+台积电/存储大厂供货：金宏气体 688106
2. 全品类电子特气协同布局：华特气体 688268
3. 石化尾气提纯双线布局：凯美特气 002549
4. 大湾区区域供气龙头：广钢气体 688548
5. 远期产能规划成长标的：侨源股份 301286
行业风险提示
1. 6N电子级二氧化碳杂质管控门槛极高，金属离子、微量有机物、水分指标要求严苛，海外OCI、林德仍占据主要市场份额，国产认证导入周期漫长。
2. 需求高度绑定先进制程晶圆扩产节奏，存储芯片资本开支周期直接影响行业景气度。
3. 化工原材料价格波动，会直接压缩气体生产企业利润空间。
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