氢氟酸(HF)是氟化氢的水溶液,是现代氟化工产业的基础核心原料,被誉为 "工业味精" 和 "氟化工之母"。所有含氟化学品几乎都以氢氟酸为起点进行生产。
电子级氢氟酸
多氟多:国内首个突破 UP-SSS 级氢氟酸生产技术并实现量产的企业,产品纯度优于 SEMI-C12 标准;已进入台积电、三星、中芯国际、合肥长鑫等全球顶级半导体企业供应链
中巨芯-U:品纯度达 SEMI G5 级,国内少数能够稳定批量供应 12 英寸 1Xnm 制程集成电路制造用电子级氢氟酸的企业;已在中芯国际、华虹集团、长江存储、SK 海力士等头部企业批量供货
滨化股份:自研离子交换 + 多级蒸馏复合提纯工艺,产品金属杂质≤5ppb,优于行业 10ppb 的通用标准;已通过长江存储、长鑫存储、SK 海力士认证
巨化股份:子公司凯圣氟化拥有电子级氢氟酸产能 6000 吨 / 年,规划 2 万吨;参股中巨芯科技
三美股份:联营企业浙江森田新材料拥有年产 2 万吨无水氢氟酸、2 万吨电子级氢氟酸、3.2 万吨 BOE 及氟化铵产能
兴发集团:控股子公司湖北兴力电子 (持股 30%) 建设 3 万吨 / 年电子级氢氟酸项目
中欣氟材:子公司高宝矿业拥有年产 7 万吨无水氟化氢、3 万吨电子级 (光伏级) 氢氟酸产能
永和股份:无水氢氟酸年产能 13.5 万吨,在建 8 万吨;电子级氢氟酸通过 LG 认证,G5 级验证中
天赐材料:年产 5 万吨氟化氢、2.5 万吨电子级氢氟酸改扩建项目已在生产中
江化微:专注于半导体用电子级氢氟酸,是国内湿电子化学品领先企业,可用于28nm 及以上先进制程的半导体制造
工业级氢氟酸
金石资源:A 股唯一纯上游资源型氟化工公司;拥有 "利用低品位萤石粉制备氢氟酸" 核心技术;与包钢股份合作开发白云鄂博伴共生萤石资源约 1.3 亿吨
东阳光:华南地区唯一拥有从萤石到氯碱到氟化工完整产业链的企业,原材料自给率超过 70%
中欣氟材:拥有"萤石矿 - 硫酸 - 无水氢氟酸 - 电子级氢氟酸 - 氟精细化学品"完整产业链
副产氢氟酸
云天化:拥有副产氢氟酸产能,主要用于生产氟化铝等产品
六国化工:拥有副产氢氟酸回收装置
新化股份:新化综合服务有限公司有一个年产 1 万吨的综合产品项目,其中包含少量氢氟酸
大洋生物:主营业务包括含氟精细化学品,子公司福建舜跃深耕氢氟酸领域,取得含水氢氟酸利用多段硫酸解析法制备无水氢氟酸绿色方法专利,是行业内成本最低的方法之一。
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