sk海力士官宣以钼代钨,除了钼增量外,对氧化铝微粉耗量大大提高;
逻辑如下:
氧化铝微粉耗量大大增加,并非因为钼
工艺直接消耗铝粉,而是为了解决五氯化钼(MoCl5MoCl_5MoCl5)带来的高腐蚀性与超高层堆叠热失控问题。1. 设备端:抗氯腐蚀涂层的“刚需”
MoCl5MoCl_5MoCl5工艺最大的副作用是释放活性氯。
• 涂层迭代:传统的氟基工艺对腔体腐蚀尚可控,但氯基工艺会迅速腐蚀气相沉积(ALD/CVD)设备的内壁和基座。为了保护设备,必须在零部件表面喷涂高纯氧化铝陶瓷涂层。
• 铝粉增量:这种涂层对高纯球形铝微粉的消耗量随产线改造呈线性增长。
2. 耗材端:陶瓷结构件的“高频更换”
海力士清州 M15 产线的改造,涉及大量硬件更换。
• 陶瓷盘与静电卡盘:在 375 层以上的高温沉积环境下,设备内部需要更多耐高温、抗氧化、抗腐蚀的氧化铝陶瓷结构件。
• 原料消耗:铝微粉作为这些陶瓷件的基础原料,其纯度(5N级)直接决定了耗材在氯气环境下的耐用度。
3. 后端:超高堆叠的热管理
• 散热填料:钼代钨是为了解决电阻率问题,但 375 层及后续 480 层的超高堆叠依然会产生巨大热量。
• 导热胶填充:封装环节对导热胶(TIM)的需求剧增,而高填充率的铝微粉(作为导热填料)是目前提升散热效率最成熟的方案。
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