一、核心:TGV 玻璃通孔 = AI 先进封装下一代基材
TGV(玻璃通孔):在超薄特种玻璃上精密打孔 + 孔内电镀填铜,制成半导体封装用玻璃基板,替代昂贵硅中介层 + 传统有机 PCB 基板,适配 Chiplet、2.5D/3D 先进封装、CPO 光电共封装,是 AI 算力芯片、高速光模块的核心新材料。
全制程 10 步量产工艺(PPT 路线)
完整自研产线闭环:玻璃来料清洗减薄→2 激光诱导成孔→3 化学蚀刻扩孔→4PVD 镀种子层→5 通孔电镀填铜→6CMP 化学机械抛光→7 光刻布线→8 表面线路电镀→9PI 保护膜→10 成品电性测试
优势:全工序自研,从玻璃深加工延伸半导体 TGV,依托公司原有 UTG 超薄玻璃减薄、镀膜工艺技术平移。
二、硬核造孔参数(国内一线水准)。
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