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2026-07-05 23:28:213

【MFC】半导体关键设备零部件加速国产化,重视!!                    
#MFC的作用                    
MFC(Mass Flow Controller)主要功能是实现半导体设备内气体的精准控制,每一路工艺气体都具备独立的MFC,刻蚀、CVD、PVD、离子注入设备、清洗等多个环节均需使用。
#MFC的市场空间和竞争格局                    
仅考虑半导体领域,25年全球MFC市场空间超150亿,国内市场空间60亿,其中日本Horiba和富金山占比分别超60%和5%,美国MKS和Brooks占比20%和6%,国产占比不足10%。25-30年行业整体复合增速超15%,预计28年国内市场空间接近100亿元。                    
国内核心玩家包括:华丞电子(国内龙头,目前MFC产品主要覆盖光伏、锂电、LED等领域,半导体领域逐步突破),高凯精密(重点突破中高端半导体领域)、Caompart System(富创精密子公司,国内半导体MFC龙头)。                    
国产化迫在眉睫,目前海外MFC排单周期1-1.5年,且海外产能有限,日美企业优先供应本土设备厂,国产MFC加速导入。                    
#压电陶瓷:MFC的核心零部件                    
MFC的三大组成部分:热式流量传感器、分流器、压电陶瓷控制阀,其中压电阀的作用是利用逆压电效应驱动阀芯从而调节流量,价值量占整个MFC的40%。目前国内仅有【邦瓷电子】一家通过半导体级认证,并实现批量供货。                    
#邦瓷电子:压电陶瓷龙头,业绩翻倍增长                    
我们预计公司28年收入超9亿元,其中MFC约4.5亿,锂电+3C超3.5亿,光刻机约1亿,对应4.5亿利润,【星源材质】目前持股13.5%,后续持股比例有望增加,强推!!


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