玻璃基板这一轮的产业驱动力,不是"玻璃性能更好"这种泛泛之谈,而是有机基板和硅中介层这两条现有路线同时撞上了物理边界,而AI加速器的封装尺寸还在继续放大。
有机ABF载板的边界是热机械失配。 有机材料CTE约15-17ppm/℃,硅约3ppm/℃,封装尺寸越大、堆叠层数越多,高温组装时翘曲越严重;同时有机build-up层难以稳定做到线宽/线距<2μm,高频下介电损耗偏高,大尺寸化又受光罩限制(华泰证券,2026-07-07)。用业内一线的说法:芯片封装尺寸放大到一定程度,硅中介层与下方有机载板之间的膨胀量差距会导致焊接失效、连接点拉断、翘曲无法焊接。英特尔原本的2.5D方案(硅桥埋入有机基板)正是受有机基板翘曲拖累,良率与性能一直弱于台积电的对标方案。
硅中介层的边界是面积效率与成本。 圆形晶圆做中介层,面积利用率仅约45%,而300×300mm与600×600mm面板可达81%(申万宏源,2026-06-09);硅中介层加ABF基板合计占CoWoS成本的60%以上,且受光罩尺寸与晶圆级工艺成本约束,难以支撑超光罩尺寸封装(国泰海通,2026-08-11)。
玻璃同时回应了这两条边界。材料本征数据上:CTE可调控至3-9ppm/℃区间,与硅匹配(华源证券,2026-08-23;平安证券,2026-08-14,均给3.0-9.0ppm/℃区间,另有来源给3-5ppm/℃、2.7-12.4ppm/℃,口径不一,取区间理解即可);介电常数Dk低至2.5-6、介电损耗Df低至0.0005-0.005(国泰海通,2026-08-20);表面粗糙度可做到<4nm(华福证券,2026-07-30)。工程验证数据上:508×508mm大板、双层积层-预固化同等条件下,玻璃基板抗翘曲性能约为有机基板的3倍;面板级单次出片面积是传统12寸圆形硅晶圆的4-8倍;TGV在10GHz的插入损耗比硅TSV低1-2dB,支持70Gb/s、抖动<2ps。Intel给出的量化目标是图案失真降低约50%、互连密度潜在提升10倍(Bernstein,2026-05-09)。
由此衍生出四条应用线,落地难度从低到高:
一是临时玻璃载板(Glass Carrier),为超薄晶圆与重构芯片提供机械支撑,制程完成后激光解键合移除、可重复使用3-4次,是玻璃封装材料中最早实现规模化量产的赛道,目前已在CoWoS、三星I-Cube等主流工艺中常规使用。
二是CPO玻璃桥/玻璃基板,利用玻璃的透光性与离子交换工艺在基板内部构筑低损耗光波导,再用TGV+RDL实现垂直电连接与平面光传输协同。康宁的Glass Bridge、京东方-康宁-华灿的光互连联合开发、LG Innotek的CPO玻璃基板中试线均属这条线。
三是玻璃芯载板(Glass Core Substrate),以玻璃替代ABF载板的有机芯层、两侧保留增层结构——这是当前产业投入最集中、也是争议最大的方向,因为它是"替代存量"而非"新增环节",直接对标ABF的市场。
四是玻璃中介层,完全替代硅中介层,需要最高的大尺寸、高层数、高密度布线能力,落地最晚。国泰海通给出的顺序判断是:先兑现临时玻璃载板,其次CPO玻璃基板,中期玻璃芯载板,远期才是大面板玻璃中介层的规模放量。
需要明确一条边界:这不是全面替代,而是结构性替代。 中低端消费级、常规手机、终端PC的基板场景下,传统ABF仍有极强的成本优势;玻璃替代的核心目标是高端FC-BGA的板芯层和AI服务器等高价值市场,替代过程是渐进的。任何以"玻璃将全面取代ABF/硅中介层"为前提的测算,都会高估空间。
玻璃基板相对有机载板,新增的核心工序集中在两处:TGV成孔与玻璃-金属界面处理/深孔填铜。完整流程为:玻璃原片—切割清洗—TGV成孔—湿法刻蚀—AOI检测—PVD种子层沉积—电镀填铜—CMP平坦化—RDL布线—ABF压合增层—切割与检测。叠层环节基本沿用有机载板工艺,仅需针对玻璃基材做设备适配;真正的新增壁垒全在前段的图形化与镀铜。
成孔环节:LIDE已是确定的主流路线。 四条技术路线的指标差异清楚:
评估指标物理钻孔激光直接烧蚀LIDE(激光诱导深度刻蚀)光敏玻璃法最小孔径>150μm~30μm<10μm~25μm深径比<5:1~10:1>50:1~20:1加工质量差(崩边)一般(微裂纹)极佳(无损)良好加工效率低中极高(批处理)高成本敏感性低中中高(耗材贵)资料来源:浙商证券,2026-08-02
LIDE先用超快激光在玻璃内部形成改性区(不去除材料),再浸入氢氟酸或混合酸(碱)刻蚀液,改性区刻蚀速率比未改性区快数百倍,从而批量形成高质量通孔;可制备深径比超过50:1、孔壁粗糙度低于25nm的高垂直度通孔,目前已被康宁、肖特、AGC、Samtec等采用,也是Intel推动产业化的支撑技术。LPKF的LIDE设备每秒可加工5000个穿孔、最大支持510×510mm面板或18英寸晶圆、可批量生产的最小孔径5μm,其局限是光源外购、深宽比覆盖5-10区间。ICP-RIE干法蚀刻与光敏玻璃为补充路线,分别受加工效率和专用材料/热处理形变限制,目前主要用于MEMS、射频、微流体等差异化场景。
关键参数与难点已经转移。 行业关注的指标从"单个极限孔径"转向"大面积基板上的孔形一致性与综合缺陷率":需同步控制顶部/腰部/底部孔径、深宽比、锥度、侧壁粗糙度、位置精度与微裂纹。参照申万宏源整理的目标窗口——孔径3-100μm、深宽比3-10:1为主流(先进可达50:1)、孔间距最小约2倍孔径、孔数密度>250 vias/mm²、孔径均匀性±0.5μm@50μm孔径、真圆度U%≤5%、侧壁粗糙度Ra<0.8μm。玻璃的脆性使微裂纹成为一等风险:打孔与切割阶段的微裂纹在后续多层铜线沉积的内应力作用下会扩张,最终导致玻璃碎裂,沙漏形或倒扣孔还会加剧种子层遮蔽,孔径与锥度波动则直接影响填铜传质与RDL布线面积。
真正的量产瓶颈在金属化填铜,不在打孔。 这是多家机构的共识:TGV成孔"已基本解决",尚未解决的是在保持结构完整的前提下用铜把孔填满(国泰海通,2026-08-11)。难点有三层:其一,玻璃表面光滑、与常用金属附着力差,需要先做活化与种子层(磁控溅射为主流,化学镀在高深宽比覆盖连续性上有优势但界面附着力逊于PVD);其二,与TSV盲孔不同,TGV多为通孔,孔口易过早封闭形成空洞,一旦上电或施加应力,空洞会放大成断路,业界靠抑制剂/加速剂/整平剂协同让中部填充快于两端来实现无空洞填充,代价是牺牲沉积速度;其三,RDL线路电镀阶段厚铜易形成梯形截面,导致ABF层与铜界面出现undercut空腔。
良率为什么上不去,可以拆到环节。 当前玻璃基板良率约60%-70%、较ABF低20-30个百分点,损耗集中在TGV打孔、多层布线、AOI检测三处(国联民生证券,2026-08-14)。检测是容易被低估的一环:透明玻璃使传统光学检测手段失效,隐裂纹在TGV阶段很难发现、却会在后端工艺上被放大导致失效(京东方,2026-07);对AOI设备的分辨率与光源要求更高,而AOI厂商要等玻璃方案定型、进入小批量生产后才会做针对性参数调整。同时,微裂纹的检测-反馈闭环目前多采用与第三方X光厂商合作集成的方式(X-ray/CT);设备侧还要满足真圆度95%以上才可投入使用的准入标准——目前仅LIDE路线可满足,但生产效率偏低。
国内工艺指标对照,可以看清各家处在什么位置: 京东方TGV深宽比达20:1、腰部孔径65-100μm可调、真圆度>90%、电镀均匀性<5%、面铜/孔铜厚度一致性约80%、线宽<2μm且线距>2μm(极限10μm无断线)、可实现20层增层、90度切割角度良率100%,75×75mm样品常温翘曲40μm、260℃回流后65μm,单层载板已通过1000次温度循环等信赖性测试;帝尔激光TGV设备深径比达50:1、最小孔径不超过10μm;沃格光电的量产级指标存在两种口径——最小孔径3μm/深宽比150:1(东北证券、东吴证券、国联民生)与最小孔径5μm/深宽比100:1(国联民生另一处表格、平安证券),两者可能分别对应通孔与盲孔或不同玻璃厚度,但公司未明确区分,引用时不宜混用;蓝思科技激光诱导+化学蚀刻成孔实现百万级通孔0ppm不通率、最小孔径<10μm;凯盛科技TGV可做孔径≥5μm、最大深宽比50:1、孔侧壁Ra≤80nm。
一句话总结这一环:玻璃基板的产业竞赛,胜负手不在谁把孔打得最小,而在谁的整板良率最稳。 而整板良率恰恰是最难通过设备采购快速买到的东西。
把各家的官方口径与第三方口径并列,会看到一个刺眼的事实:"玻璃基板什么时候量产"这个问题,到今天依然没有收敛。 以下按主体梳理,各时点为不同机构口径,原样呈现、不作归一。
厂商技术路线最新进展量产目标(不同机构口径)Intel厚玻璃芯+EMIB(10-2-10)2026.01 NEPCON展出78×77mm样品;ECTC 2026披露全铜填充TGV通过冷热循环;新墨西哥Rio Rancho定为量产基地;2026.07与蓝思科技签MOU2026年(开源证券表列)/2027-2028年(长江证券)/2028年左右起量(申万宏源专家)/2030年全面商用(国联民生、Intel官方)台积电CoPoS,玻璃作中介层,310×310mm面板CoPoS中试线2026.02设备交付、6月建成;与Ibiden、群创三方验证玻璃基板导入CoWoS/CoPoS2027年小批量试产、2028H2量产(华创证券)/2027年底-2028年大规模量产(国泰海通)/董事长口径"量产仍需2-3年"/2030年后玻璃芯商业化(TrendForce)三星电机玻璃芯基板世宗pilot line运行并向苹果、博通送样;与住友化学子公司Dongwoo Fine-Chem合资GlaSSEM(注册资本4821亿韩元,三星66%/东宇34%)2027财年下半年建立供应体系(华创证券)/2027年以后正式量产(国盛证券)/2028年量产、月出货目标2.5万panel(申万宏源专家)SKC/Absolics玻璃芯基板(填充型+共形型)佐治亚Covington工厂、年产能12,000m²、基板尺寸500×500mm;获US CHIPS Act资助上限约1亿美元;向AMD/AWS送样2026年底完成可靠性测试、2027年全面量产(华创证券)/2026年底商业化量产(国联民生)DNPTGV玻璃芯(510×515mm)久喜工厂中试线2025年12月分阶段运行,2026年初开始送样,提供填铜型/共形型两方案FY2028建立量产体系LG InnotekCPO玻璃基板龟尾中试线;与精密玻璃加工企业UTI合作从2028年推迟至2030年Ibiden玻璃芯载板与台积电、群创合作CoPoS玻璃芯路线图指向2030+(UBS)AGC玻璃材料+TGV图形化已实现晶圆级及面板尺寸TGV图案化管理层口径:2028年前后小范围采用、2029年进入爬坡Rapidus玻璃中介层、PLPSEMICON Japan 2025展出600×600mm玻璃中介层样品2028年群创FOPLP/玻璃面板载体2026年3月单月出货超4000万颗;RDL与TGV仍在客户认证待定资料来源:国盛证券2026-09-03、华创证券2026-08-14、开源证券2026-08-18、国联民生证券2026-07-17、华泰证券2026-07-07、申万宏源2026-06-17、UBS 2026-07-27等
值得注意的是,本轮验证的加速有很实在的触发点:AI加速器封装尺寸向14倍光罩以上推进,有机基板的刚性已经不够用,玻璃芯从"可选"变成"必需"。UBS明确指出,玻璃芯基板的价值恰恰体现在超过14倍光罩尺寸的封装上。这是需求端真实的结构性变化,也是为什么即便量产时间表反复推迟、产业投入仍在加码的原因。
国产链的进度不能一概而论。按订单兑现的先后,三个环节的确定性从高到低是:设备 > 加工平台 > 原片。这条排序背后是产业逻辑——产线要建,必须先买设备;设备订单确认后,加工平台才开始跑良率;而原片要等工艺路线定型、客户认证通过后才批量采购。
制造平台:面板厂是主角,京东方最完整。 显示面板企业在大尺寸玻璃加工、薄膜沉积、精密对位、光刻与批量检测上有数十年积累,与TGV制程高度重合,且可用旧产线改造切入,资本投入远低于新建先进封装厂。这正是京东方、TCL华星、长信科技、群创、友达等面板厂能跨界的原因。
京东方的时间线最清晰:2020年启动玻璃基载板技术调研,2022年投3.9亿元搭建玻璃基/硅基兼容的晶圆级创新实验平台,2024年追加9.93亿元建设国内首条板级玻璃基封装载板试验线,2025年完成主设备搬入调试并完成9-2-9(20层)样品开发与送样,2026年上半年板级产线全自动化通线、设计月产能1000片,已完整打通TGV开孔、深孔填铜、增层、布线全流程;2026年5月与康宁签署合作备忘录,康宁提供TGV专用玻璃配方与工艺、京东方负责大尺寸制造与国内市场。公司口径是未来两年优先做良率优化与量产能力建设,预计2027年中做出量产投资决策(Citi,2026-07-07)。关键改进信号是:该试验线被管理层视为"一条可以跑量产良率的小量产线",且载板单体已通过1000次温度循环等全流程信赖性测试——这在此前专家调研中被认为是整条链最难达到的点。
沃格光电是另一类稀缺标的:全球少数具备TGV全制程产业化能力的企业之一,掌握"薄化—镀膜—TGV—精密镀铜—多层线路"完整工艺,湖北通格微已建成年产10万平方米TGV玻璃基板产线(2024年完成),2026下半年投产放量,CPO玻璃基板产品已批量送样,并与华为共建松山湖联合中试线。
蓝思科技走的是绑定Intel的路径:2023年将TGV列为重点研发方向,2026年CES首发TGV玻璃基板技术,2026年7月与Intel签署合作备忘录(聚焦玻璃基板穿孔成型、高精度激光加工、金属化通孔沉积、多层互连布线)。产能规划具体:3万平方米TGV专用厂房预计2026年底投产,约3000片510×515mm/月(每片15个基板),2H27目标提升至10000片/月;当前线宽线距可做8-10μm;正与北美及韩国客户联合验证22层玻璃芯载板(UBS,2026-07-28;国泰海通,2026-08-20)。但需注意,UBS的科技团队同时给出玻璃芯基板量产时点在2029-30年的判断,蓝思自己的产能规划比下游需求节奏更靠前,实际出货取决于客户导入进度。
此外,长信科技已基本完成TGV核心工艺开发、2026年5月快速建设TGV中试线、6月向多个客户送样;凯盛科技投资1.5亿元建TGV中试线;TCL科技仍处前期调研与技术预研阶段,2026年下半年展示样品并启动中试线筹建;深天马、维信诺亦有布局。
设备:确定性最高的一环,订单已在兑现。 玻璃基板产线的设备投资占比极高——参照盛合晶微三维多芯片集成封装项目,84亿元总投资中75.15亿元用于设备购置,占比89.47%(野村东方国际,2026-08-20)。中金测算玻璃基板设备端至2030年累计市场空间约489亿元,远期渗透率打开后有望达千亿元量级,其中PVD与电镀环节约占产线投资40%。核心玩家与进度:
帝尔激光:TGV微孔设备深径比达50:1、最小孔径不超过10μm,已完成晶圆级与面板级玻璃基板通孔设备出货,2026年面板级TGV设备出口订单发货并取得小批量复购订单;同时覆盖激光+蚀刻+AOI,对接京东方、沃格、蓝思及台系、韩系客户。海目星:激光+湿法蚀刻全链条自研,通孔圆度可达98%以上,TGV业务已完成小批量送样、部分订单实现中试线交付,客户覆盖先进封装与显示行业并含海外客户。公司整体订单强度高(26H1新签含税超100亿元、同比约+150%,在手近200亿元),TGV是其中一条增长线。东威科技:垂直连续电镀设备国内份额超50%,针对玻璃载板的垂直电镀设备已完成研发,水平电镀宽深比已达1:7、正研发1:10产品。汇成真空:已向三叠纪等交付两条PVD设备,并开发玻璃ALD设备——PVD是目前机构认为的工艺卡点之一(激光打孔已相对成熟)。盛美上海(湿法刻蚀)、华海清科(CMP)、芯碁微装(LDI直写曝光)、联得装备(玻璃基封装设备与京东方深度配合)、精测电子与中电科风华(板级RDL 2D AOI量检测)等均在各自环节卡位。原片/材料:格局最好,但节奏最慢。 上游玻璃原片受矿源、高纯原料、溢流成型工艺与核心专利锁死,海外康宁、肖特、AGC、电气硝子垄断,短期难破(浙商证券,2026-08-02)。国内参与者与进度:戈碧迦(自主硼硅玻璃料方,国内唯一键合玻璃载板量产出货企业,玻璃载板已通过通富微电、长电科技等认证,合同金额已到1.25亿元);旗滨集团(独创浮法+自研配方,避开溢流专利,多批量试制与初步验证);彩虹股份(溢流法G8.5+,国内首片自主知识产权溢流法0.5t G8.5+基板玻璃已于2020年下线);力诺药包(压延出板技术对标肖特,中试窑炉已点火);凯盛科技(浮法路线、自研低CTE配方,中试线贯通、小批量试产)。国内原片玩家普遍处在送样验证阶段,且已出现"小规格(310×310mm)送样合格、大规格(510×515mm)首次送样因CTE过高及激光打孔应力导致裂痕未通过"这类具体卡点——这恰好说明原片不是简单的玻璃熔制问题,而是与下游激光/刻蚀工艺强耦合的配方问题。
中游与上游的技术代差是不对称的。 浙商证券的判断值得直接引用:上游半导体玻璃原片受资源与专利硬约束,海外垄断格局短期难破;而中游TGV成孔、金属化填铜、CMP、高密度RDL虽各工序均有严苛壁垒,但无资源独占型硬约束,国内设备与加工企业已实现部分环节突破,整体技术代差显著小于上游原片。这个不对称意味着:国产替代的短期弹性在中游加工与设备,长期格局与超额利润则更可能沉淀在上游原片。
一句话总结就是:这一轮玻璃基板的投资机会,短期在设备(订单可见、不承担良率风险),中期在加工平台的良率兑现(第一批突破85%的厂商会获得超额定价,当前国内半导体级 TGV 全流程良率普遍70‑78% 区间,85% 是半导体封装级玻璃基板的量产分水岭),长期在原片的格局集中(配方与专利是唯一无法用资本开支买到的壁垒)。
五、TGV 玻璃基板,率先稳定跑到全制程良率 85%的厂商,能拿到超额定价的逻辑行业现状:当前国内半导体级 TGV 全流程良率普遍70‑78% 区间,85% 是半导体封装级玻璃基板的量产分水岭。
低于 85%:成本极高,只能做样品、小批量,没有议价权;
稳定≥85% 全制程良率:才有条件进入头部芯片厂 / 台积电 CoPoS 的量产候选池;供给稀缺阶段,优先拿到订单,同时获得超额溢价(15‑30% 溢价),客户愿意为良率、可靠性付费,避免封装后报废损失。
注意:是完整全制程良率(打孔‑填铜‑RDL 布线‑可靠性),不是单工序良率。
国内中游基板制造,谁最有概率率先摸到稳定 85%1、沃格光电(通格微,湖北天门)
官方披露:目前半导体 TGV全制程良率 75% 以上,正在持续爬坡,距离 85% 还有一段爬坡区间。
优势:国内唯一打通完整 TGV 全流程的产线,打孔、填铜、RDL 全部自有产线,不用大量外协;已经小批量出货非算力类 TGV 产品,同时对接海外头部客户送样验证。
短板:目前算力 GPU/CoPoS 等级样品还在验证,尚未大规模半导体量产;85% 良率属于产线爬坡目标,不是当前已经稳定达成的量产状态,股吧流传的 “已经 85‑90%” 属于市场演绎,非公司官方口径。
如果它第一个跑到稳定 85%:国产里面最优先拿到 CoPoS、CPO 光引擎的候选资格,享受稀缺溢价。
2、京东方 A
已经打通 TGV 全流程,试验线样品完成信赖性测试,和康宁合作玻璃原片;但属于试验线,没有建成大规模面板级 TGV 量产产线,以研发送样为主,缺少小批量出货验证环节,从试验良率到产线稳定 85% 还需要时间迭代。
3、蓝思科技
建成 TGV 中试厂房,和英特尔签备忘录,以前段玻璃加工见长;填铜、多层 RDL 后段制程仍在攻关,完整全流程量产产线尚未落地,良率数据未公开披露。
4、长信科技
依托群创光电间接对接台积电,做玻璃减薄加工;没有完整 TGV 金属化、填铜全制程产线,大量工序外协,完整全流程良率不受自己掌控,很难独立跑出 85% 全制程良率。
海外对标:康宁、肖特,实验室良率可以到 85‑90%,但是价格极高;国产一旦稳定摸到 85%,对比海外巨头具备显著成本优势,同时拿到溢价。
超额定价的真实约束(非常关键)
光有实验室 85% 没用,必须是产线连续稳定 85%+ 可靠性测试通过。偶尔一批样品做到 85% 不算,要连续批次稳定,并且通过高低温、湿热可靠性认证,客户才愿意给溢价、下量产订单。
即便良率做到 85%,也不等于立刻拿到台积电订单,还要经过 12‑24 个月客户验证周期。
超额定价只存在行业供给稀缺阶段(2027‑2028);当 2‑3 家厂商都跑到 85% 良率,供给上来,溢价会快速消失。
设备厂商不受良率博弈影响:不管哪家基板厂跑出来,都要采购激光打孔、电镀设备,设备商确定性更强。
简化总结
短期看,沃格光电(通格微)是国内最有机会率先摸到稳定 85% 全制程良率的标的,但当前实际量产良率 75%+,处在爬坡过程,尚未达成目标;其次是京东方,但缺少量产产线;蓝思、长信短板分别在后段制程、全流程自主可控能力。
85% 良率 = 入场券 + 稀缺溢价;一旦多家突破,溢价快速抹平。
另据机构消息:近日台积电供应链相关企业将赴汉沟通后续tgv订单落地事宜,随时可能有订单落地催化,重视!
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