核心驱动:多层芯片3D堆叠。
四大要求:翘曲控制、间隙高度管理、高热导/电导、无残留底部填充。
演进路径:HBM3 → HBM3E → HBM4 → HBM4E →
2029年后HBM5。
方向:大尺寸薄裸片、低热阻、低电阻、高互联密度。
混合键合:无凸点原子级互联,是终极方案;但逻辑与存储迭代进度不同。
二、热压键合与混合键合1. 基于助焊剂TCB当前逻辑/HBM主力,存量1000多台,覆盖30-50μm。
HBM4节点无法满足12/16层HBM4/HBM4E堆叠。
HBM总高放宽至775μm,单层+互联需<40-45μm,裸片减薄至30μm,间隙需≤10μm,该工艺无法适配。
2. 无助焊剂TCB取消助焊剂涂覆/清洗,支持凸块间距<10μm,微凸点数量翻倍。
甲酸液体方案:美国库里索法、国产普莱信。
L2气体方案:氩气+氢气还原,减少甲酸残留,进度领先;代表SMT、国产快克智能。
3. 混合键合替代障碍替代预期:HBM5时代全面替代,节距需<5μm。
良率:16层HBM4E整体良率20%-30%,单层<90%,远未量产。
成本:设备>400万美元,是TCB的至少2倍;整体TCO是TCB的3倍以上。
节点:HBM总高从720→775μm,可能到800-900μm;SK海力士推迟至HBM5;业界导入从2028H2→2029年后。
结论:优先延长TCB生命周期。
三、存储厂商态度SK海力士:保守,TC-NCF性能优,混合键合全面导入推迟至HBM5。
三星:最积极,2025年3-4月完成12层HBM4E混合键合产线验证,但良率距50%-60%量产要求差距大。
四、TCB设备市场假设:未来3年HBM产能至少翻倍;混合键合分流<10%。
需求:
存储侧:500-700台/年。
逻辑侧:400-500台/年。
实际采购:理论值的60%-70%。
预测:
2026:450台,出货额近8亿美元。
2027:766台,采购高峰。
2028:755台,中性出货额近16亿美元,乐观20亿美元量级。
2029:进入混合键合替代节点。
价格:无助焊剂TCB替代,均价小幅提升。
五、竞争格局ASMPT:
2025年TCB市占率27%-28%,出货100多台,收入约2亿美元。
逻辑侧领先,CoWoS C2S主导;客户台积电、英特尔。
存储侧已切入SK海力士、三星,份额提升空间大。
混合键合与EVG合作,第2代设备,1-2家封测厂商验证。
BESI(原文Bessie):混合键合龙头,导入推迟致2025H2股价承压。
韩美半导体:SK海力士原主供;2024年底引进ASMPT及韩华半导体作为2供、3供。
日本新川:三星原主供之一;2024-2025年ASMPT切入三星供应链。
SA、BESI、ASMPT、韩美半导体:2025年AI周期下估值整体上浮;ASMPT因混合键合推迟拉长TCB景气,叠加存储侧突破,估值折价消弭。
六、核心结论混合键合是终极方向,但2029年前难全面替代TCB。
无助焊剂TCB是当前升级主线,L2气体方案领先。
存储厂商态度分化:SK海力士保守,三星积极,美光未展开。
TCB需求:存储500-700台/年,逻辑400-500台/年;实际采购打6-7折。
2027年为采购高峰;2028年中性出货额近16亿美元,乐观20亿美元。
ASMPT受益TCB周期拉长+存储份额突破,估值折价修复。

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