EFEM晶圆传送/晶圆前端传输系统的A股上市公司名单

涉及EFEM晶圆传送/晶圆前端传输系统的A股上市公司

一、8家核心标的

1. 机器人（300024）
自研半导体大气机械手、真空机械手、完整EFEM晶圆传送平台，适配刻蚀、薄膜、离子注入设备，国内老牌工业机器人切入半导体传输赛道。
2. 海晨股份（300873）
控股子公司海盟科技，自主研发AMHS整线，主营EFEM、晶圆存储Stocker、空中天车OHT，覆盖晶圆厂全套物料传输。
3. 新时达（002527）
半导体设备布局EFEM、Stocker、炉管、涂胶显影配套晶圆传输模块，适配8/12英寸产线。
4. 智立方（301312）
半导体精密传输设备，覆盖晶圆制造、光通信芯片、MEMS、CIS图像传感器前端传送单元。
5. 京仪装备（688652）
国产成熟EFEM整机龙头，原有温控设备业务延伸，自研全套EFEM，已批量交付晶圆厂，8/12寸全覆盖。
6. 芯碁微装（688652）
自研高精度运动平台、晶圆动态聚焦、传送定位核心零部件，配套EFEM整机，对标海外精密传动龙头。
7. 富创精密（688409）
持股31%上海广川（EFEM整机厂商），与安翰米科技合作，晶圆传送模块、7nm制程零部件已完成验证。
8. 大族激光（002008）
控股76.5%大族富创得（专精特新小巨人），主营EFEM、Sorter、SMIF晶圆传输设备，2023年相关营收3.5亿元。

二、其他布局EFEM/晶圆传送模块的A股补充标的

1. 华海清科（688120）
CMP抛光设备标配自研EFEM前端传送模块，配套自有工艺机台出货。
2. 北方华创（002371）
刻蚀、沉积设备集成自研EFEM晶圆前端传输单元，配套自有设备出货。
3. 盛美上海（688085）
湿法清洗设备配套自研EFEM晶圆传送系统。
4. 华卓精科（688512）
光刻机配套晶圆传输、对准平台，可拓展独立EFEM整机业务。
5. 创元科技（000551）
子公司苏净科仪布局半导体晶圆传送、Load Port组件。

三、业务分类区分

1. EFEM整机完整供货（最强国产替代）

京仪装备、大族激光（大族富创得）、海晨股份（海盟科技）、富创精密（上海广川）、机器人

2. EFEM核心精密零部件/运动平台

芯碁微装、智立方、新时达

3. 配套自有工艺设备内置EFEM模块（不单独对外销售整机）

北方华创、华海清科、盛美上海

行业逻辑补充

全球高端EFEM长期由日本RORZE、平田、Brooks垄断，国内国产化率极低，存在断供风险；2028年国内EFEM+晶圆传片配套市场规模预计近百亿，国产厂商处于放量初期。

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