SEMI最新预测：2026年全球半导体设备销售额将达到1659亿美元，同比增长23.2%；到2028年将升至2295亿美元，创下历史新高。
这其中，中国大陆贡献了近35%的采购量，是全球最大买家，但中国设备商份额极小。据统计，光刻、量测检测、涂胶显影、离子注入四大环节，国产化率均不足10%。
外采环境也不容乐观。7月15日，ASML披露Q2对华订单同比下滑39.2%，并确认不再接受国内晶圆厂DUV新询价。8月1日，日本第三轮设备管制也将正式生效。
本期主要通过“国产替代紧迫性”和“替代可行性”两个维度梳理，发现国内深度布局的公司共6家，供大家参考。
1、精测电子
国内品类最全的半导体量检测设备商
✅️量产能力
截至2025年末，膜厚设备累计出货超400台套，光学关键尺寸（OCD）设备超70台套，电子束设备超60台套，是国内出货量最高的本土品牌。
✅️技术壁垒
产品线覆盖膜厚量测、OCD、电子束缺陷检测、暗场检测、明场检测等品类，是国内量检测设备厂商中品类最全的。
暗场检测设备已完成样机研发（DEMO），明场缺陷检测设备已实现14nm制程稳定交付，7nm先进制程订单即将落地。
✅️客户绑定深度
2025年12月至2026年5月，与头部存储客户累计签单9.48亿元；6、7月，又分别斩获1.35亿和2.23亿元订单。
公司拟全资收购上海精测剩余41.17%股权。
2、中科飞测
国内半导体量检测设备营收规模第一
✅️量产能力
2025年营收20.53亿元，国内第一。无图形晶圆缺陷检测设备累计交付超300台，图形检测设备超400台。
✅️技术壁垒
国内光学检测落地最全的，暗场、明场、AOI、套刻等都通过了客户验证并获得批量订单。
2025年研发投入6.56亿元，研发费用率31.95%，专利789项。
✅️客户绑定深度
覆盖中芯国际、长江存储、长鑫存储等超100家客户产线。
行业最高壁垒的明场检测设备，在长存、长鑫验证接近尾声，份额预期从此前30%上修至50%。
3、上海睿励（中微公司参股）
国内最早深耕前道量测的拓荒者，光学膜厚量测设备已进入65/55/40/28nm产线，是国内唯一进入韩国领先芯片企业的国产设备商。
上海睿励未上市，中微公司为其重要参股方，参股36.49%。
二、涂胶显影机，国产化率＜10%
4、芯源微
国内涂胶显影设备唯一玩家
✅️量产能力
东京电子垄断全球90%以上份额，芯源微是唯一具备市场份额的中国企业。
2025年营收19.48亿元，前道产品连续第二年成为签单主力；配套Spin Scrubber清洗机同步放量，整机累计出厂超1000台套。
✅️技术壁垒
公司拥有授权专利215项（含境外19项）；
在LED芯片制造及后道先进封装领域，技术水平已与国际知名企业持平；在前道领域正加速追赶。
✅️客户绑定深度
后道设备批量供货台积电、长电、华天等头部封测；前道涂胶显影斩获华力、长江存储、中芯系多家晶圆厂订单。
三、离子注入机，国产化率＜8%
5、凯世通（万业企业控股）
凯世通是国内首家获得CIS（低能大束流离子注入机）订单，并完成交付的国产供应商。
2025年营收3.48亿元，同比增长44.55%，国内离子注入机出货量第一。
低能大束流离子注入机客户已突破12家，超低温离子注入机客户突破7家，高能离子注入机客户突破3家。
面向2纳米及更高制程的Hyperion系列离子注入机，已进入国内头部客户验证。
凯世通未上市，被万业企业控股，约63.18%的股权。
6、烁科中科信
隶属中国电子科技集团（CETC），是国内除凯世通外，另一家实现12英寸离子注入机交付的企业。
中束流和大束流两大主力型号，已有40多台进入国内12英寸产线，量产工艺段覆盖至28nm。
6月4日，在北京证监局完成IPO辅导备案，当前处于上市辅导期，辅导券商中信建投。
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