公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断干式真空泵产品满足 14nm逻辑芯片及128 层及以上 3D NAND 等存储器工艺的生产需要,已在中国各领先晶圆制造企先进业实现大批量应用！并已通过台积电、SK 海力士、客户1的测试验证实现批量出货！
长江存储，2023年为公司第二大客户，2024年为公司第一大客户！
2. 唯一真可控核聚变：
真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬 X 射线自由电子激光装置等 11 项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海光源主要参与者，于 2013 年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用 MBE 设备研制领域居于国内领先地位。
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