中科仪（920186）：半导体干式真空泵
替代产品：集成电路制造用干式真空泵，是晶圆刻蚀、薄膜沉积、离子注入等核心工艺的必备真空设备，直接决定芯片生产的良率与稳定性，被称为半导体产线的 “真空心脏”。
日系垄断格局：全球高端干式真空泵市场长期由英国爱德华、日本荏原（Ebara）两大巨头垄断，叠加先进的阿耐斯特岩田（Anest Iwata）合计占据全球 70% 以上市场份额；其中日本荏原在先进制程、苛刻工艺场景技术优势显著，国内 12 英寸晶圆厂高端产线此前高度依赖日系及欧美进口设备。
替代进展与地位：公司是国内唯一实现集成电路先进制程干式真空泵批量应用的厂商。
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