核心产品:腔体、内衬、匀气盘、加热反射罩、冷盘、静电卡盘基体、真空焊接结构件;
应用设备:中微刻蚀机、北方华创 PVD/CVD/ 刻蚀 / 退火设备;
客户绑定:北方华创、中微合计贡献80%+ 营收,两家企业还间接持股托伦斯;同类零部件供应链份额 20%-35%;
同赛道国产竞品上游:富创精密、先锋精科、成都超纯、珂玛陶瓷。
2. 对 Lumentum(激光 / 光设备上游)
腾景科技:滤光片、偏振分束器;
炬光科技:OCS 准直阵列、光学元件;
光库科技:光开关、隔离器、铌酸锂调制器;
2. 封装 / 外壳材料
中瓷电子:高速光芯片陶瓷管壳;
华懋科技(富创优越):OCS 光模块 PCBA 电路板;
3. 衬底 / 芯片材料云南锗业:磷化铟 InP 衬底(EML 激光器芯片基底);4. 封装产线设备上游科瑞技术(耦合 / 共晶 / AOI 检测设备)、罗博特科 ficonTEC(CPO 耦合设备);5. 机械结构上游N 托伦斯:激光光路精密金属腔体、散热件。
射频电源:Advanced Energy、MKS;
真空 / 流体:VAT 阀门、Edwards 真空泵、Entegris 高纯耗材;
精密陶瓷 / 硅碳件:京瓷 Kyocera、Coorstek;
洁净零部件:Ultra Clean Tech(UCT);
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