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说明：磷化铟/砷化镓高速光芯片，MOCVD外延生长两大耗材组
1.特种气体：磷烷、砷烷、硅烷、氟系清洗气、高纯载气（氮、氢、氩）
2.MO源（金属有机前驱体）：三甲基铟、三甲基镓、三乙基镓等，决定外延层品质
一、特种气体板块（对标：华特气体、金宏气体）
股票代码 公司名称 核心产品 对接光通信客户情况 供货阶段
688268 华特气体 磷烷、砷烷、刻蚀气、高纯载气 光迅科技、三安光电、源杰科技 小批量供货，国产主力备选
688106 金宏气体 高纯特种气体、电子大宗气 光迅科技、化合物半导体厂商 小批量导入
688146 中船特气 三氟化氮、六氟化钨（腔体清洗气） 光迅科技、三安光电试样验证 试样/小批量
600378 昊华科技 六氟化钨、高纯氟类气体 多家光器件、芯片企业备选 备选供应商
002971 和远气体 高纯氮气、氢气、氩气（载气） 光电产业园集中供气配套 园区管道供气
688548 广钢气体 电子大宗气体 华南光电产业园配套供气 园区供气模式
二、MO源（金属有机前驱体，MOCVD核心耗材）
股票代码 公司名称 核心产品 对接光通信客户情况 供货阶段
300346 南大光电 MO源（三甲基铟、三甲基镓）、磷烷砷烷 光迅科技、源杰科技、三安光电重点验证 小批量试供，国内龙头
300487 蓝晓科技 MO源提纯树脂材料（耗材上游） 供给MO源厂商，不直接供给芯片厂 产业链最上游材料
三、配套辅助化学品（光刻、清洗、抛光耗材）
股票代码 公司名称 核心产品 对接光通信客户情况 供货阶段
603212 彤程新材 光刻胶、光刻配套试剂 化合物半导体晶圆工艺 试样验证
300054 鼎龙股份 抛光液CMP耗材 磷化铟晶圆抛光 国产验证阶段
四、海外头部厂商（目前量产线主要在用，无A股）
1. 大阳日酸（日本）：磷烷、砷烷，国内IDM厂第一气源
2. 美国空气产品：全套MOCVD特种气体
3. 德国默克、美国陶氏：海外MO源龙头
产业链传导顺序
高纯金属铟→磷化铟衬底
↓
MO源 + 特种气体 → MOCVD外延 →高速光芯片（源杰/光迅/三安）
↓
精密耦合封装 →光引擎/光模块（天孚、中际旭创、新易盛）
现状总结
1. 剧毒掺杂特气（磷烷、砷烷）：生产线主力仍然进口，华特气体、金宏气体是国产突破第一梯队。
2. MO源：南大光电是国内唯一可以供给高速InP光芯片的厂商，仍处在产能爬坡。
3. 氟系清洗气、大宗载气：国产替代进度最快，中船特气、昊华科技已经较多导入产线。
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