混合键合到底是什么东西

2026-05-26 20:59:262


上游材料:晶圆、芯片、铜互连、介质层、清洗液、电镀液、临时键合胶


下游进入前先做准备:CMP抛光、清洗、表面活化、电镀、颗粒控制


核心设备:W2W、D2W、D2D混合键合设备


相邻配套设备:临时键合、解键合、减薄、划片、检测、量测


封装与制造:长电科技通富微电华天科技晶方科技甬矽电子


终端应用:HBM、Chiplet、AI芯片、CIS、3D NAND、服务器、硅光


完整传导链条:


晶圆/芯片/铜互连/介质材料

CMP抛光/清洗/表面活化/电镀

W2W/D2W/D2D混合键合设备

临时键合/解键合/减薄/划片/检测/量测

先进封测厂导入量产

HBM/Chiplet/AI芯片/CIS/3D NAND/服务器/硅光等应用


通俗理解:


混合键合就是把两片晶圆或两个芯片面对面精准贴在一起,让铜和铜直接连上,让芯片之间的距离更短、连接更密、速度更快、功耗更低。


产业链最核心的是混合键合设备,其次是CMP、清洗、表面活化、检测量测等配套环节,再往后是封测厂和HBM、Chiplet、AI芯片等终端应用。

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标签: 芯片

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