半导体后道工艺(封装测试):七大环节设备厂商全梳理

2026-04-12 19:53:131
一. 半导体制造工序

1.1 前道工艺(晶圆制造)

(1)目的:在晶圆上完成晶体管、互连线路制造,生成完整裸芯片(Die)。

(2)主要步骤:薄膜沉积→光刻显影→刻蚀→离子注入→CMP抛光,需重复循环来完成结构的层层构建。

1.2 后道工艺(封装测试)

(1)目的:将前道产出的裸芯片封装为标准化成品,并完成功能、可靠性测试,确保芯片符合出厂要求。

(2)主要步骤:晶圆中测(CP)→晶圆减薄→晶圆切割→固晶贴装→引线键合→塑封成型→成品终测(FT)。


二. 后道环节与设备

2.1 晶圆测试(CP测试)

(1)目的:测试每个裸芯片(Die)的电性能与功能,剔除坏片,避免浪费后续封装成本。

(2)设备:探针台、测试机。

(3)测试机头部:泰瑞达(美)、爱德万(日);长川科技精智达

(4)探针台头部:东京电子(日)、东京精密(日)、FormFactor(美);联动科技矽电股份

2.2 晶圆减薄

(1)目的:将晶圆背面研磨减薄,以满足封装厚度要求,并优化散热性能。

(2)设备:减薄机。

(3)全球头部:Disco(日)全球市占率超60%。

(4)国内头部:华海清科

2.3
晶圆切割(划片)

(1)目的:将晶圆切割成独立裸芯片(Die)。

(2)设备:划片机。

(3)全球头部:Disco(日)、东京精密(日)双寡头垄断。

(4)国内头部:大族激光光力科技

2.4
固晶贴装

(1)目的:将切割后的裸芯片固定在封装基板(IC载板)或引线架上,完成机械固定。

(2)设备:固晶机/贴片机。

(3)全球头部:Kulicke&Soffa(美)、ASMPT(新加坡)。

(4)国内头部:新益昌

2.5 引线键合

(1)目的:用金属线(金或铜)连接芯片焊盘与基板引脚,实现电气连接。

(2)设备:引线键合机。

(3)全球头部:Kulicke&Soffa(美)全球市占率超60%。

(4)国内头部:快克智能

2.6
塑封成型

(1)目的:用环氧树脂等材料包裹芯片与焊线,提供物理防护和电气绝缘。

(2)设备:塑封机。

(3)全球头部:TOWA(日)全球市占率超50%。

(4)国内头部:耐科装备

2.7
终测(FT)

(1)目的:测试封装后芯片的功能、性能、可靠性,剔除不达标产品。

(2)设备:分选机、测试机。

(3)分选机头部:科休(美)全球市占率超40%。

(4)国内头部:金海通

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