中科仪：唯一全工艺覆盖干式真空泵“小巨人”，存储扩产+国产替代打开成长空间‼
#中科院下属真空泵“小巨人”，唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业、唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。
#干式真空泵为半导体核心“底座”、国产替代迎黄金发展期
干式真空泵覆盖晶圆制造约70%主要工艺，是不可或缺的核心设备，受AI算力及存储扩产驱动，我们预计26/27E中国半导体真空泵市场规模达63.4/74.3亿元。市场格局看，Edwards、Ebara等国际巨头仍占据主导地位，公司24年国内半导体领域市占率为12.72%，抽速、能效等核心指标已处于国际一梯队。
#同步存储巨头扩产节奏、维保市场长坡厚雪穿越周期
核心客户长江、长鑫上市在即，25Q4单季度采购量公司产品占有率超50%，同时已通过台积电、SK海力士的测试验证并实现小批量供货，随着新一轮产能扩张和工艺升级周期，公司订单有望加速释放。关注维保市场的稳定增量，干式真空泵长期运行于高腐蚀、高强度连续作业环境，随累计装机量提升，维保需求有望持续增长。
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