英诺激光 - 玻璃基板的核心

2026-05-22 10:44:084
为什么玻璃基板那么重要?

玻璃基封装载板是下一代先进封装的核心材料,旨在替代传统有机基板(如ABF),以解决AI芯片。它能解决散热、翘曲、信号损耗等瓶颈,核心是通过玻璃通孔(TGV)​ 技术实现垂直互连,用于AI数据中心的核心设备(如GPU、HBM、CPO光模块)。


为什么英诺激光是核心?

在玻璃基板上制作微米级通孔并金属化,实现层间电气连接。激光加工是TGV通孔成形的关键环节。

玻璃基板的核心制造难点在于成形高品质通孔,要求高精度、小尺寸(孔径可小至10μm)、高深宽比、侧壁光滑、垂直度好。当前主流工艺为激光诱导刻蚀(Laser-induced etching),即先用激光对玻璃进行预处理(改性或直接打孔),再通过化学蚀刻形成通孔。该工艺对激光设备的脉冲宽度(皮秒/飞秒级)、光束质量、加工精度和效率要求极高。


英诺激光的核心能力恰好匹配此需求:


1. 技术储备:公司拥有纳秒、皮秒、飞秒全脉宽激光器技术,其中超短脉冲(皮秒/飞秒)激光正是玻璃等脆性材料精密加工的理想选择,能极大减少热影响区,实现高质量切割与钻孔,该技术在国内是顶尖水平。

2. 工艺验证:其AMT-1064皮秒激光器已应用于玻璃钻孔,可实现最小10μm孔径、崩边<5μm的微孔加工,并具备Bessel beam等先进钻孔技术,适用于半导体玻璃钻孔等场景。

3. 方案延伸:公司商业模式为“激光器+解决方案”,具备为特定工艺(如TGV)提供定制化激光模组或整机设备的能力。

4. 客户协同英诺激光PCB超精密钻孔领域已实现突破并获批量订单,而PCB与封装载板在加工工艺上有相通之处,为其切入玻璃基板钻孔领域提供了技术迁移基础。


应用领域:

TGV通孔成形:提供皮秒/飞秒激光钻孔设备或模组,用于在玻璃基板上进行高精度、高效率的微孔阵列加工,满足TGV对孔径、深径比、孔壁质量的要求。

玻璃基板切割/外形加工:提供激光精密切割解决方案,用于将大板玻璃基板切割成特定尺寸的单元,避免传统机械切割带来的崩边和微裂纹。

人造钻石打孔切割:人造钻石(金刚石),其DPSS调Q纳秒激光器MOPA纳秒激光器以及皮秒/飞秒超快激光器,能针对金刚石不同的加工需求(如粗切割需高能量、精加工需“冷加工”)提供最优光源,公司以自研激光器为核心,整合光学、机械、运动控制与工艺算法,推出如Adamant系列等接轨国际标准的专用设备,打破了该领域长期被以色列垄断的局面,客户已覆盖Diamond Foundry(全球培育钻石龙头)四方达中兵红箭国机精工恒盛能源等国内外知名企业。


公司技术团队

赵晓杰(创始人)的背景完美诠释了“科学家创业”,其履历在激光产业界极为亮眼。

- 博士毕业于华中科技大学光电子工程系(中国光学与激光技术重镇)

- 日本分子科学研究所博士后

- 发表与激光技术及应用相关的期刊论文50多篇

- 是英诺激光41项专利的发明人


林德教(董事)

- 清华大学博士,英国哈德斯菲尔德大学博士后

- 曾任职于英国SPI Lasers公司(全球知名光纤激光器公司)高级科学家

- 现任公司MOPA纳秒/亚纳秒激光技术研发负责人

-发表激光相关学术论文70多篇,是公司5项专利发明人。在超快激光器领域有深厚积累。


晏恒峰博士

- 入选国家科技专家库
- 主持北京市科委重大专项等科研项目
- 负责筹建英诺激光技术创新中心





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