AMHS，是Automated Material Handling System的缩写，即自动物料搬送系统（天车）。一般特指在洁净室环境下，通过软件系统的控制和调度，按照生产系统的指令，实现物料在生产线工序间的自动搬运、缓冲存放的系统。
AMHS负责在晶圆制造过程中，自动搬运晶圆盒（FOUP）在各个设备之间流转，实现全自动、无人工干预的运输。
在先进晶圆厂中，人工搬运几乎已经被完全替代
1）洁净度要求极端严苛（最关键原因）先进制程对颗粒污染极其敏感，一个微小颗粒就可能导致整片晶圆报废。
人员走动会带来：
微粒脱落（皮屑、纤维）、气流扰动、静电释放
即使穿无尘服，人仍然是最大污染源之一，单片价值可能高达数千到上万美元，一次污染或掉落 = 整片报废
2）精度要求超越人工能力先进晶圆厂的搬运不是“拿起来搬走”，而是：
FOUP（晶圆盒）自动对接
晶圆批次追踪（lot tracking）
精确到机台/工站的调度
与MES系统实时同步
例如：
OHT定位误差可做到毫米级甚至更低
路径调度是动态优化问题（类似实时算法）
👉 人工无法做到这种“系统级精确控制”。
3）效率与节拍（Takt Time）要求极高晶圆厂是典型的：
24小时连续生产
多设备并行
工序数百道
人工搬运的问题：
路径不固定
等待时间不可控
峰值拥堵严重
需要排班
AMHS可以：
自动调度最优路径
减少WIP（在制品）堆积
提高设备利用率
👉 本质是提升“整厂吞吐率”。
4）系统复杂度太高，人无法参与全局调度现代晶圆厂物流是一个复杂系统：
上百台设备
数千个FOUP
多层洁净室（上下层轨道）
实时订单变化
人工只能“局部搬运”，无法理解全局优化。
AMHS + MES 可以做到：
全局调度
动态优先级
自动避堵
产线均衡
5）空间利用效率更高（垂直化生产）
先进晶圆厂普遍采用：
上层：OHT轨道运输
下层：设备密集排列
如果用人工：
必须留通道、空间浪费巨大、产线布局受限
AMHS让工厂实现：
👉 “空间垂直化 + 高密度设备布局”
AMHS组成包括三大核心模块：
OHT（天轨小车系统）：在厂房顶部运行，负责高速运输晶圆盒
Stocker（自动仓储）：用于临时存储与缓存
EFEM接口：连接生产设备，实现自动上下料
它们共同构成一个“立体物流网络”。
全球AMHS市场主要由日本厂商主导，例如：
Daifuku（全球龙头）Murata Machinery（重要厂商）
在先进制程晶圆厂中，AMHS几乎是标配系统。
没有AMHS，现代晶圆厂就无法成为真正的“自动化工厂”。
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弥沉科技
是中国领先的半导体 AMHS 系统及核心零部件供应商，掌握 AMHS 核心技术自主知识产权，为中国第一家在8寸和12寸晶圆厂完成系统级验收的整厂供应商。
华芯智能
自2016年起专注于半导体 AMHS 的迭代研发，为国内 AMHS 领域的先行者。华芯当前已形成完善的 AMHS 产品体系，实现从硬件到软件的全覆盖。天车产品已迭代至第四代，并围绕半导体工厂自动化解决方案，构建了完善的软硬件产品矩阵及高效可靠的交付体系。
海晨股份
2023年海晨股份完成对昆山盟立的收购，布局半导体 AMHS（自动化物料搬运系统）市场。整合了昆山盟立在半导体及面板 AMHS 领域的成熟技术，产品包括天车（OHT）、无人搬运车（AGV）、智能存储柜（Stocker）等关键设备，覆盖晶圆厂全流程物流需求，具备国产替代潜力。
成川科技
是国内首家实现在半导体 AMHS 领域整线验收的企业，其 AMHS 系统在技术上达到了行业前沿水平，例如其天车在高空中以每秒5.2米速度穿梭，抓取晶圆时定位误差控制在±1mm以内。公司自主研发了 AMHS 整体解决方案中所有关键软硬件产品，拥有多项发明专利和几十个实用新型专利。
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