二、核心硬件产品（直接用于存储芯片洁净车间）
1、主力硬件清单
1）在线式尘埃粒子计数器（产线24小时不间断监测）可捕捉0.2μm~10μm悬浮粉尘颗粒，可以区分0.3μm、0.5μm关键粒径；存储芯片3D NAND多层堆叠、DRAM薄膜沉积工序，0.3μm粉尘即可造成晶圆短路报废，正是该设备核心监测指标。
2）粒子传感模组（嵌入式集成方案）可以嵌入洁净工作台、晶圆传送仓、光刻机周边微环境，给存储芯片机台做局部微区颗粒监控，属于晶圆厂机台配套零部件。
3）多参数监测终端同步采集：悬浮粒子+温湿度+压差+气流风速+静电值，整套数据自动存储、可审计，满足半导体工厂良率追溯、SEMI合规要求。
4）便携式粒子检测仪用于洁净室巡检、新建无尘车间验收，客户包含晶圆制造、存储封测企业。
2、技术壁垒
自主光学传感算法，国产替代进口品牌（美国TSI、日本加野），硬件成本更低，支持长期7×24小时连续不间断运行，适配存储工厂全年无休的连续生产模式。
三、半导体洁净室业务整体应用场景
（一）通用半导体洁净室业务
1、应用车间等级：十级（Class4）、百级（Class5）、千级（Class6）无尘车间，覆盖晶圆制造、刻蚀沉积、离子注入、芯片封装、测试全环节。2、客户现状：产品已经落地多家半导体厂商，现阶段以中小晶圆厂、封测厂为主；公司计划依托上海新设全资子公司精创华芯（上海）科技有限公司，深度对接长三角集成电路集群（长存、长鑫存储上下游），拓展头部存储大厂订单。
（二）存储芯片（DRAM/NAND）洁净室精准配套1、适配存储芯片两大类洁净厂房
1）前端晶圆制造车间（长鑫DRAM、长江存储3D NAND产线）
• 薄膜沉积、氧化扩散、光刻区域：洁净等级Class2~Class5，对0.3μm颗粒管控极其严格；
• 公司在线粒子监测设备用于整条产线全域监控，防止粉尘造成存储单元出现坏块，直接保障堆叠上百层的3D NAND良率。
2）后道封装与测试洁净车间
• 键合、塑封、探针测试车间（Class5~Class7）；
• 产品用于晶圆切割、存储芯片封装工位的环境实时监控，杜绝封装阶段引入微粒缺陷。
2、存储行业刚需逻辑
长鑫存储、长江存储持续大规模扩产，新建厂房必须配套全套尘埃粒子在线监测系统；每一条存储产线需要几十台在线粒子计数器+大量嵌入式传感模组，行业新建洁净厂房会持续拉动监测设备采购，公司传感器产品属于洁净室基础设施里的刚需仪表。
3、业务拓展规划上海子公司落地后，重点发力存储芯片产业链无尘车间项目，把半导体洁净监测业务从小批量试点，逐步升级为第二增长曲线；除了颗粒监测，还会同步开发洁净室温湿度、微环境测控设备，深度绑定存储工厂基建周期。
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