光模块正从800G向1.6T、3.2T演进,共封装光学(CPO)等新形态加速落地。每一次速率与集成方式的升级,都会沿产业链向上游传导压力,而压力的终点,则是磷化铟(InP)的化合物半导体衬底。磷化铟可理解为光芯片的"地基":无论发光的激光器还是收光的探测器,都需生长于这层衬底之上;缺少它,光模块便无法完成电光转换。本文将围绕"磷化铟是一种怎样的材料、它是如何被制造出来的、当前究竟处于怎样的供需状态"三个问题展开进行分析。
磷化铟是由铟与磷组成的III–V族化合物半导体,与砷化镓同属第二代半导体材料。它在光通信中不可替代的原因,在于其物理特性与光通信需求形成了精准匹配——目前它是唯一同时满足四项条件的半导体衬底:其一,具有直接带隙,导带底与价带顶位于同一晶格动量位置,电子与空穴复合无需声子参与,电光转换效率高,而硅属间接带隙材料,发光效率极低;其二,发光波长与通信窗口精准匹配,1310nm与1550nm正是光纤损耗最低的两个窗口,通过生长InGaAsP、InGaAlAs等外延合金可将波长精确调校至此;其三,电子迁移率极高,可支撑100GHz以上信号传输;其四,外延晶格匹配良好,可在同一衬底上集成激光器、调制器与探测器,为单片集成奠定基础。
从产业链看,其结构为"InP衬底→外延生长→光芯片→光组件→光模块"。发射端以连续波(CW)、分布反馈(DFB)、电吸收调制(EML)等边发射激光器芯片为主,接收端以PIN、雪崩光电二极管(APD)等探测器芯片为主;其中EML的本质,是将DFB激光器与电吸收调制器(EAM)单片集成于同一片InP衬底,在芯片层面实现"发光与调制合一"。
在技术路线演进上,传统可插拔方案的电信号需沿印制电路板(PCB)传输十几厘米,高频衰减与功耗问题突出,产业界因此沿"可插拔→NPO(近封装光学)→CPO(共封装光学)"路径推动光引擎向交换芯片(ASIC)靠近。CPO将光引擎与交换芯片共封装于同一基板,电信号传输距离缩短至50mm以内、信道损耗控制在7dB以内:一套3.2T的CPO方案功耗约18W,一台51.2T交换机采用CPO后整体功耗可降低77%以上。但硅光光引擎本身不能发光,而激光器又是光链路中最怕热、最易老化的部件,故行业共识是采用**外置激光源(ELS)**方案,将CW激光器做成前面板可插拔模块,通过保偏光纤向封装内光引擎馈送光功率。
对于新型材料的冲击,应按功能逐项审视:薄膜铌酸锂(TFLN)电光系数达31pm/V、行波调制带宽突破110GHz、半波电压降至1V以内,综合性能优于硅光与磷化铟电吸收调制器,但它本身不提供电注入激光增益,竞争的仅是调制环节;硅光方案将发光与调制拆分,以独立的磷化铟CW激光器负责发光、以硅基马赫—曾德尔调制器(MZM)或微环调制器负责调制、以Ge-on-Si探测器负责收光,接收端由此部分脱离磷化铟平台。结论是:替代主要发生在器件功能层,即便在硅光与CPO架构之下,外置CW光源仍须以磷化铟作为增益介质;硅光模块在数据中心短距场景凭借集成度与成本优势快速渗透,而在中长距电信与相干通信领域,磷化铟方案依然不可替代。被替代的是发光之外的环节,而发光的"芯",仍须生长在磷化铟之上。
磷化铟工艺链的第一道门槛来自其物理化学性质:在1062℃熔点下,磷的饱和蒸气压即高达约2.75MPa(约27.5个大气压),而红磷的蒸气压更可高达10MPa。这意味着磷化铟无法像砷化镓那样在高压釜内将两种元素直接混合合成,而必须先通过溶质缓慢扩散或注入的方式生成多晶料,再装料重熔、生长单晶。多晶原料若偏离化学配比过多,极易形成夹杂物、沉淀、孪晶与位错等缺陷,工业上通常要求其载流子浓度低于10¹⁶cm⁻³(最好低于5×10¹⁵cm⁻³)、化学配比接近1:1、不含夹杂与异物。
多晶合成目前有三条路线,在纯度与效率之间各有取舍:其一,溶质扩散合成法(SSD),让红磷挥发为磷蒸气,在900–1000℃条件下与铟熔体经气—液反应逐步扩散合成,温度较低、磷压较小、污染少、纯度较高,但气—液接触面有限,周期长、效率偏低;其二,水平布里奇曼法/水平梯度凝固法(HB/HGF),将合成温度升至1062℃以上以增大接触面积,效率较高(约100小时可合成4kg多晶),但管内压力大、硅污染较严重;其三,原位直接合成法,将磷蒸气直接注入高纯铟熔体,合成后可立即衔接直拉(CZ)工序,具有污染少、速度快、产量大、纯度高的特点,被普遍视为未来批量生产的主流方向。
真正拉开企业工艺差距的,是装料与长晶环节对容器、气氛与温场的极致要求:须在百级洁净环境下,依次将籽晶、三氧化二硼(水含量低于200ppm)、5N级高纯红磷、掺杂剂与多晶料装入PBN坩埚,加盖石英封帽后整体装入石英料管,抽真空并以氢氧焰封焊。长晶则是温场与压力的动态博弈——炉内先充惰性气体至1.9MPa,随升温升至2.8MPa;四个独立控温区与共七支热电偶协同工作,单点温度波动需控制在±1℃以内;籽晶熔融长度达10–15mm后转肩生长,坩埚以不大于2.5mm/h的极慢速度下降;生长结束后须降温至350℃方可排空炉压,再降至约150℃才能开炉取晶。上述任一环节失控,都意味着整炉晶体报废。
目前能够实现磷化铟单晶批量生长的技术主要有三种:高压液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)与垂直布里奇曼法(VB)。工艺上,LEC在3.8–4.2MPa压力下生长、周期2–3天,采用石墨热场、垂直向上提拉、惰性气体气氛;传统VGF则在2.7–2.8MPa下生长、周期长达10–15天,采用炉丝热场、垂直向下生长、真空气氛——即LEC快而压力高、VGF慢而温场更为平和。质量上,以国家知识产权局授权公告CN113638048B说明书的数据为参照:LEC晶体头部位错密度高于3000cm⁻²、尾部高于8000cm⁻²,头部电子迁移率高于1.4×10³m²/V·s、尾部高于1.1×10³m²/V·s;传统VGF晶体头部位错密度低于500cm⁻²、尾部低于5000cm⁻²,头部电子迁移率高于1.8×10³m²/V·s、尾部高于1.3×10³m²/V·s——两组数据表明,VGF在位错密度与电学均匀性两项指标上均优于LEC。产业实践中,VGF通过调节多段加热器功率获得特定温场分布与温度梯度,可有效降低平面内载流子浓度与位错密度的波动;美国AXT与日本住友分别以VGF、VB技术生长出直径150mm的磷化铟单晶,住友更以VB法制备的4英寸掺铁半绝缘衬底实现批量生产。LEC虽以B₂O₃覆盖熔体、配合高压抑制磷挥发、成晶率较高且提拉速度与直径可调,但其热场温度梯度高达28.7K/cm(VGF改良路线可低至17.4K/cm),晶体应力与位错密度更高、电学参数不够均匀;学术界亦指出,VGF法在制备6英寸磷化铟方面"鲜有建树"。
单晶锭还须经定向、多线切割(切缝损伤层深度控制在20–50μm)、磨边、研磨、抛光、清洗等多道精密加工,才能成为可供外延使用的衬底,其中CMP化学机械抛光用于获得镜面级表面、背面湿法腐蚀用于去除应力层、RCA标准清洗用于去除颗粒与金属离子,最终在洁净环境中真空封装,以保证Epi-Ready(可直接外延)的表面质量。检测环节同样全参数受控,以3英寸VGF衬底为例,行业可交付标准要求位错密度(EPD)平均值不高于500/cm²、厚度600–650μm、总厚度变化(TTV)≤10μm、弯曲度(BOW)≤10μm、翘曲度(Warp)≤10μm,并以霍尔(Hall)测试表征电阻率与迁移率、对直径厚度及表面颗粒度实施全检。
综合前道与后道,磷化铟扩产壁垒可归纳为四类:单晶炉与温场系统(炉体可外购,但温场配方、炉间一致性与批次验收能力需长期数据积累);PBN坩埚、石英安瓿等耗材与磷压控制的匹配;切磨抛洗设备、检测能力与洁净工程的同步就绪(其中检测能力往往决定交付节奏);以及熟练工人(砷化镓团队的装料与温场调试经验虽可迁移,磷压控制、孪晶抑制与客户规格适配仍需独立验证)。学术界公认制备大尺寸磷化铟单晶的两大主要难点,正是"提高晶体成品率"与"降低晶体应力",而这恰是设备之外最难复制的部分。磷化铟扩产是"设备+温场+材料+操作"四要素长期匹配的过程,规划产能向合格交付的转化存在客观时滞——这正是行业供给弹性持续低于预期的根本原因。
需求方面,磷化铟需求的基本盘由传统电信与接入网的稳步增长构成,而边际增量几乎全部来自AI数据中心的高速互联。市场预测显示:LightCounting预测2026年全球以太网光模块市场规模将达260亿美元,其中800G与1.6T产品合计约146亿美元、占比约64%;工信部《高速光模块产业发展白皮书》预计2026年全球1.6T光模块出货约1500万只、市场规模约45亿美元;集邦咨询预测2026年全球800G及以上光模块出货量将超过6300万只,占整体出货量约六成。需求测算的核心变量可表示为"模块量×每模块芯片数×面积系数÷每片有效芯片数",其中有两个关键事实:一只800G光模块需要4—8颗磷化铟基激光器芯片,而1.6T光模块的芯片消耗量约为800G的近3倍。这意味着,速率每升级一代,磷化铟的消耗并非等比增长,而是加速增长。
供给方面,多重约束叠加使其成为典型的紧缺物料:Yole预计2026年全球磷化铟衬底需求将达260万—300万片(折合2英寸当量),而有效合规产能仅约75万片,供需缺口超过七成;若折合4英寸口径,2026年需求接近200万片,2027年预计攀升至250万—280万片,2028年可能进一步增至400万—500万片。格局上,全球九成以上产能集中于日本住友电工、美国AXT(旗下北京通美)与日本JX金属三家;工艺上,单晶生长需在1000℃以上、约27个大气压条件下进行,从设备调试到通过下游激光器厂商的器件验证与可靠性认证,通常需要一到两年;库存上,全产业链库存仅够支撑约3个月。产业界亦有验证:Lumentum总裁兼CEO曾公开表示,磷化铟的供需缺口已超过DRAM与NAND闪存,电信客户的订单量从"数百件"跳升至"数亿件",交付已排到2028年。
价格是供需紧张程度最直接的映射。国内市场,上海有色网(SMM)数据显示,8月6日我国4英寸磷化铟衬底当日均价达6250元/片,较年初上涨约45%;海外市场,2英寸通信级衬底价格由2025年初约800美元/片上涨至2026年4月的2300—2500美元/片,6英寸高端衬底价格从1400美元/片涨至突破5000美元/片、涨幅超过250%。大尺寸衬底的涨幅显著高于小尺寸,反映出下游对外延加工一致性、先进工艺配套设备与加工效率的偏好持续提升;原料端,国内精铟现货价格从年初约2960元/千克攀升至8月中旬的5400—5500元/千克、涨幅逾80%,7N级高纯铟报价已突破6000元/千克。交易层面,现货市场普遍呈现"有价无货"状态,头部光芯片企业需提前支付30%—50%的预付款以锁定未来两年的产能份额,市场上甚至出现一次性锁定10万片衬底的情形。
政策变量正重塑磷化铟的全球流通格局。2025年2月4日,商务部与海关总署第10号公告将磷化铟(3C004.a)、三甲基铟(3C004.b)、三乙基铟(3C004.c)及相关生产技术(3E004)同步纳入出口管制,出口须依法申请许可;管制落地后,国内精铟价格快速上行,海外部分光芯片与外延产能加速向国内转移。海外一侧,美国FCC持续加码——2026年8月有外媒报道称FCC正着手制定禁止进口中国制造光模块的裁决,并定于2026年10月13日实施新规,凡含有由"覆盖清单"(Covered List)实体生产或设计的芯片、模块及组件的电子设备,将无法获得FCC设备认证。其结果,是全球账面供需平衡已无法代表各区域的可得供给:国内市场的核心矛盾是"真实缺口+库存低位",海外市场的核心矛盾是"仅有住友、JX可自由交付+许可审批节奏",价格、交期与订单结构将长期分化。
光互联方向是磷化铟最直接的下游承接环节,本文以光互连为重点梳理相关标的:
中际旭创(300308):全球高速光模块龙头,全球市占率约27%,产品覆盖800G/1.6T/3.2T,深度绑定海外头部云厂商,是磷化铟基光芯片与衬底最重要的下游需求方之一。
源杰科技(688498):国内磷化铟基光芯片IDM龙头,覆盖芯片设计、外延生长、晶圆制造到测试封装的全链条,产品包括DFB、EML激光器芯片及大功率CW硅光光源;数据中心业务快速放量(2025年数据中心收入3.93亿元,同比增长719%)。
云南锗业(002428):国内磷化铟衬底龙头(子公司云南鑫耀),现有产能15万片/年;2026年4月启动"高品质磷化铟单晶片建设项目"(计划建设期18个月,新增30万片,最终达45万片);其控股子公司已签署5.7亿—8.55亿元的磷化铟晶片供货大单。
光智科技(300489):通过增资控股先锐科技,置入先导科技集团的磷化铟衬底资产,完成2→4→6英寸三代晶体的迭代,是国内首批推出6英寸磷化铟衬底的厂家之一,已获得某全球头部客户的6英寸订单;依托集团的高纯铟、高纯红磷自给能力。
东山精密(002384):全球第三大PCB厂商,2025年收购索尔思光电,具备EML光芯片(100G/200G PAM4)与光模块的一体化制造能力,形成"AI服务器PCB+高速光模块"的闭环。
新易盛(300502):全球光模块第二梯队前列,主营高速数通光模块,参与12.8T XPO等标准定义,海外云厂商订单占比高。
天孚通信(300394):光器件与光引擎平台型企业,在FAU、ELS等CPO配套核心部件上处于领先地位,属于产业链上游核心零部件供应商。
光迅科技(002281):国内光器件/光芯片IDM厂商,覆盖全系列芯片,同时布局高速光模块。
联讯仪器(688808):光通信测试仪器国产龙头,是全球第二家能够提供1.6T光模块全部核心测试仪器的厂商;客户覆盖中际旭创、新易盛、光迅科技、Lumentum、Coherent等。
华盛昌(002980):测量仪器仪表企业,通过并购伽蓝特切入光通信高端测试领域(覆盖100G—1.6T光模块、硅光晶圆检测)。
唯科科技(301196):精密注塑模具龙头,通过并购久腾科技切入MT插芯/MPO等光连接核心精密部件,配套高速光模块与CPO的高密度布线。
供给端国际格局:全球磷化铟衬底"三巨头"为日本住友电工、美国AXT(旗下北京通美)与日本JX金属,合计占据全球九成以上产能;Lumentum、Coherent为海外磷化铟光芯片/器件IDM的重要厂商,也是国内光模块与光芯片企业的直接国际对标与竞争方。
五、风险提示
磷化铟衬底扩产及技术替代风险:单晶生长工艺壁垒较高,产能释放存在较长的验证周期;硅光、薄膜铌酸锂等新技术持续迭代,若替代进程快于预期,将对磷化铟衬底需求形成冲击。
贸易及出口管制政策变动风险:国内外出口管制、FCC等监管政策持续变化,会影响材料、光模块与硬件设备的进出口,造成供应链割裂。
原材料价格大幅波动风险:铜、金、树脂、稀散金属等上游原材料价格若大幅上涨,将挤压制造企业利润,且下游价格传导存在时滞。
关联风险:报告同一主题下的高端PCB技术产业化不及预期(M9覆铜板、mSAP、CoWoP、正交背板等良率爬坡与工艺调试难题),以及SOFC产业链扩产与氧化钪等核心原材料供给风险。
磷化铟的产业命题,本质上是AI算力沿"光模块→光芯片→衬底"这一路径向上游传导的结果。它之所以"紧缺",并非源于需求突然出现,而是源于供给端的刚性:1062℃的熔点与2.75MPa的离解压,决定了它必须先合成多晶、再生长单晶;七支热电偶、±1℃的温控与2.5mm/h的下拉速度,决定了良率提升只能依靠时间积累;EPD≤500/cm²、TTV/BOW/Warp≤10μm的交付标准,决定了"能够长出来"与"能够合格交付"是两件不同的事——设备可以采购,但"温场—磷压—批次一致性"的稳定复现无法速成。
需求端,AI数据中心贡献了最为陡峭的边际增量,800G→1.6T→3.2T的芯片消耗不是等比放大,而是加速放大;CPO与硅光改变的是集成位置,而非发光需求,激光增益依然锚定在磷化铟之上。供给端,全球九成产能掌握在三家海外厂商手中,扩产与客户认证周期长达一到两年,全产业链库存仅够约3个月。供需两端斜率之差,共同造就了价格与订单的双重景气。
与此同时,政策将这条链条切割成了两套逻辑:国内是"真实缺口+库存低位",海外是"仅住友、JX可自由交付+审批节奏"。2025年2月的出口许可,让资源在手的中国第一次在磷化铟这一环节握有了一张有分量的筹码;但也需清醒看到,"上游原料强、下游高端衬底弱"的格局尚未根本改变——高端6英寸衬底的国产化率仍不足5%,这既是差距,也是弹性所在。
落到投资视角,报告给出的线索较为清晰:国内衬底与光芯片的国产替代,是弹性最大的方向(云南锗业、光智科技、源杰科技);光模块与光器件龙头,是需求的确定性承接方(中际旭创、新易盛、天孚通信、光迅科技、东山精密);测试仪器与光连接精密件,是随速率升级而价值量持续膨胀的上游配套供应方(联讯仪器、华盛昌、唯科科技)。
需要提醒的是,磷化铟的紧缺与景气,最终要靠一片片通过客户认证、稳定量产、批量交付的衬底来兑现,而非依靠价格暴涨的新闻。产能可以在一天之内规划完成,客户的信任却要依靠一片片晶片逐步建立。当光模块的速率从800G跃向1.6T、3.2T,当CPO迫使CW激光器只能依托磷化铟制造,这块曾经长期处于产业链边缘的小众材料,正被重新定价为AI算力的底层坐标。
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