所有光刻胶核心原材料均为树脂 (40–70%) > 溶剂 (15–25%) > 光酸产生剂 (PAG, 5–15%) > 添加剂 (5–10%),树脂占比最大,是性能核心
核心树脂
八亿时空
KrF-PHS 树脂 (百吨级)
国内首条双产线量产,金属杂质≤10ppt
南大光电
KrF/ArF 树脂
配套自产 ArF 光刻胶,50 吨 / 年线稳定供货
光酸产生剂 (PAG)(曝光核心,EUV 级壁垒最高)
强力新材
KrF/ArF-PAG
国内 PAG 龙头,批量供货
溶剂与单体(纯度决定良率,国产化提速)
佳先股份
KrF-PHOST 单体
国内唯一规模化供应,年产 1000 吨
树脂:八亿时空(KrF-PHS)、南大光电(ArF)
PAG:强力新材(KrF/ArF)
溶剂:怡达股份(PGMEA)、佳先股份(PHOST 单体)
受益场景:日本限制 KrF/ArF 订单后,国内晶圆厂加速切换国产材料
第二梯队(中试 / 验证阶段,即将受益)
树脂:彤程新材(ArF)、圣泉集团(KrF)
PAG:华懋科技(EUV)、久日新材(高端 PAG)
受益场景:2026–2027 年国内 ArF 光刻胶扩产,带动上游材料需求
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