中科仪 2010年3月发起设立拓荆科技！（下图）
公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断干式真空泵产品满足 14nm逻辑芯片及128 层及以上 3D NAND 等存储器工艺的生产需要,已在中国各领先晶圆制造企先进业实现大批量应用！并已通过台积电、SK 海力士、客户1的测试验证实现小批量出货！（下图）。
长江存储，2023年为公司第二大客户，2024年为公司第一大客户！
EUV光刻机真空设备（下图）干式真空泵主要用于集成电路制造前道工艺(主要包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、离子注入、化学机械抛光等)
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