公司营收分为四大板块,核心业务围绕真空技术展开:
干式真空泵(核心营收支柱,2025 年占比 64%)
产品分为 L/M/H 三大系列罗茨干泵、螺杆泵、涡旋泵,覆盖半导体制造全工艺环节:L 系列面向清洁工艺(装载、传输)、M 系列面向中等工艺、H 系列面向刻蚀、沉积等苛刻工艺。
应用场景:集成电路 15 个核心工艺环节中 11 个需要真空泵构建真空环境,同时覆盖光伏、锂电、显示面板等泛半导体领域。
真空科学仪器设备(2025 年占比 18.46%)
主要供应国内高校、科研院所及国家大科学工程,是同步辐射光源、粒子对撞机等重大科技基础设施的核心真空部件供应商,非标定制属性强,产销率 100%。
维修服务及零部件销售(合计占比约 17.5%)
为存量设备提供全生命周期维保服务,具备高毛利、高复购的特点,是业绩稳定器。二、技术壁垒与行业地位
1. 技术壁垒:国产赛道唯一断层领先
制程覆盖唯一性:国内唯一实现 14nm 先进逻辑芯片、128 层以上 3D NAND 存储芯片全工艺批量应用的干式真空泵厂商,也是唯一覆盖清洁、中等、苛刻全工艺环节的本土企业,技术指标(抽速、极限真空度、能耗)对标爱德华、荏原等国际龙头,抽速较海外同类产品高 20%、能耗低 30%。
研发平台与积累:拥有真空技术装备国家工程研究中心等 3 个国家级研发平台,积累 1500 余项生产工艺应用方案数据库,集成电路领域干式真空泵累计出货量超 3 万台。
验证壁垒:半导体设备验证周期长达 1-2 年,客户粘性极强,一旦进入供应链难以被替代。
2. 行业地位
国内市场:绝对龙头,2024 年国内半导体干式真空泵市占率 12.7%,位居国产厂商第一,先进制程场景几乎无其他国产厂商可替代,是国内晶圆厂供应链自主可控的首选供应商。
全球市场:全球干式真空泵市场长期被爱德华、荏原、阿特拉斯・科普柯三大巨头垄断(合计市占率超 90%),中科仪为全球第二梯队领头羊,是唯一打入全球先进制程供应链的中国厂商。
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