9月8日晚阿斯麦与台积电于中国台湾新竹及荷兰费尔德霍芬联合发起行业计划,推动High-NA EUV由现行6寸光罩转向12寸大尺寸光罩,目标2031年前建成试产线、2033年系统就绪并进入先进节点量产,台积电同步明确2030年起在先进制程高量产导入High-NA。12寸光罩直接消除半场拼接限制并提升扫描机产能与成本效益,在AI芯片晶体管架构复杂化、High-NA曝光层数持续增加的背景下,High-NA从导入走向规模化降本的商业化路径与光刻资本开支强度确定性显著抬升。
先看两个事实:
1、EUV光罩基板单价接近50万美元,是DUV约500美元的100倍2、空白掩模版在成本中的占比也不低,大概为40%,说明blank mask是掩模制造环节的核心成本项之一
再看分析:
事件还原:为什么说这次"动真格"掩模尺寸标准三十年没变过。 6英寸(152×152mm)规格可一路追溯到DUV时代,EUV沿用至今,整个掩模生态(基板、写入、检测、POD、搬运、扫描仪接口)都围绕它构建。向6×12英寸迁移意味着整条产业链重建——伯恩斯坦明确指出这不是换一块玻璃,而是基板镀膜、光罩盒、电子束写入、缺陷检测、光刻机内部夹持系统的协同改造(Bernstein 2026-08-27)。这也是为什么过去几十年没人动它。
台积电态度逆转是这次最核心的信号。 台积电此前反复公开表态——SEMICON Taiwan 2026现场仍称2030年前不采用High NA(华泰证券 2026-09-08),A13/A12(2029年前)路线明确排除。这次不仅官宣2030年先进逻辑HVM导入,还牵头行业计划。市场有一种解读:台积电过去贬低High NA是为了压价,现在价格谈妥了。无论动机如何,结果是一样的:全球最大EUV买家从"被动拖延"转向"主动卡位",High NA生态成熟的最大不确定性被移除了。
三大厂时间表首次统一,High NA从质疑走向放量在即。 三星2028年用于DRAM大规模量产(行业首次,J.P.Morgan称其为"new positive");台积电2030年逻辑HVM;英特尔已在18A部分Panther Lake层级HVM、累计处理超100万片晶圆(是其余所有厂商的总和);SK海力士评估加入。全球已有10台High NA在4家客户运行、3台出货中,累计曝光超135万片(ASML SEMICON Taiwan披露,2026-09-01)。J.P.Morgan的判断值得重视:三星2028 DRAM导入意味着ASML今年下半年就会看到High NA订单、2027年更多,台积电订单2028年落地(J.P.Morgan 2026-09-08)。
12英寸掩模是High NA经济性的关键解锁,不是锦上添花。 High NA(0.55NA vs 0.33NA)分辨率提升约70%,但变形光学让曝光视场减半——印得更细,却装不下越来越大的AI芯片(GPU/ASIC/HBM控制芯片面积已逼近光罩极限),只能靠拼接,而拼接的对准偏差可能报废整颗数千美元的芯片。6×12英寸掩模让High NA恢复26×33mm全视场单次曝光,无需拼接,ASML CTO口径吞吐量提升约40%。对一台4亿美元的机器,吞吐量就是经济性本身——12英寸掩模是在给High NA"降本增效"扫清最后一个技术路障。
机构怎么看:方向一致积极J.P.Morgan(2026-09-08):三星2028 DRAM导入是"new positive",High NA采用时间线"更清晰且更近了";ASML 2026H2起见High NA订单、2027年更多,TSMC订单2028年看到。对ASML是"新收入流的能见度大幅提升"。Morgan Stanley(2026-09-09,日本半导体设备):High NA放量是掩模设备顺风——检测转向Lasertec A300、写入转向IMS/JEOL MBMW-401;大掩模转型需要全新掩模制造基础设施,是额外顺风。Bernstein(2026-08-27/09-01):EUV掩模基板ASP在中远期可能"台阶式跳升2倍+"(6×6→6×12),把Hoya目标价上调至¥35,500(EUV mask blank份额70%+,双寡头格局);ASML目标价€2,500(基于40x PE)。国海证券(2026-09-09):重点不在事件本身,而是借ASML扩产(荷兰BIC North新基地、2027年EUV/DUV产能各+30%、EUV产能已被预订至2027年底)引申国产光刻胶机会(彤程新材、鼎龙股份)——这条逻辑链离事件更远,属于"设备扩产→先进制程光刻胶需求"的外围传导。blank mask 卡位最稀缺的是"资产"聚和材料(688503.SH)是国内 blank mask(空白掩模)环节卡位最稀缺的标的:通过收购 SK Enpulse(SKE)拿到韩国成熟产线、14-90nm DUV 全覆盖、SK 海力士量产认证这三样国内没有任何一家公司同时具备的资产。
一、blank mask 为什么值得卡位核心结论:blank mask 卡位最稀缺的是"资产",不是"收入"——当下买的是 2027 年国产替代的期权聚和材料(688503.SH)确实是国内 blank mask(空白掩模)环节卡位最稀缺的标的:通过收购 SK Enpulse(SKE)拿到韩国成熟产线、14-90nm DUV 全覆盖、SK 海力士量产认证这三样国内没有任何一家公司同时具备的资产。但必须把三层逻辑分开计价——9 月 8 日 ASML/台积电 12 英寸 High-NA 计划是 2031-2033 年的远期事件,对聚和当期业绩零贡献,本次 +12% 是主题行情;blank mask 国产替代是真实但兑现依赖验证节奏的长逻辑(最早 2027 年上海产能落地才见批量收入);当期报表则是银浆主业亏损、半导体收入几乎可忽略的现实。稀缺性是真的,但"资产在手"不等于"收入在手"——SKE 产线被 SKC 剥离时稼动率仅约 20%,这是一笔别人没做赚钱才卖给你的资产,能否盘活取决于国内客户导入节奏,这是整个逻辑最需要盯住的地方。
一、blank mask 为什么值得卡位:先核实"40%",再谈逻辑先处理口径问题。"空白掩模版占掩模制造成本约 40%"查不到权威出处,属于市场说法。可验证的数据是:华源证券(2025-09-09)称 blank mask 价值量占光罩 BOM 的 50-60%、毛利率 70-90%;聚和材料交流纪要口径为占总成本 30-50%;龙图光罩招股书显示其石英基板单一原材料项占比 2021-2023 年已从 33% 升至 40%(注意这是"基板"一项,不是完整 blank)。三个口径差异不小,但都指向同一结论:blank 是掩模版制造里价值量最大的单一材料,40% 的说法落在各口径区间内,方向没问题,精确数值不必较真。
"高成本占比 + 零国产化 + 垄断供给"三件事叠在一起,才是国产替代空间最陡峭的半导体材料环节之一:
价差:EUV mask blank 单价接近 50 万美元/片(Bernstein 2026-08-27),与低价位 DUV blank 相比价差达千倍量级。需注明:国内 KrF blank 实际采购价约 0.7-1 万元人民币/片、ArF 约 1-3 万元/片(招商证券 2026-06),与 Bernstein 所说"DUV 约 500 美元"差异很大——前者更像最低端光学 blank 口径。用国内真实 DUV 采购价算,EUV/DUV 价差也在 百倍以上,量级判断成立。垄断:全球 blank mask 被日系主导——HOYA 占 EUV blank 份额 70%+,与 AGC 构成双寡头;DUV 高端(ArF)基板几乎全部来自 HOYA 与信越(长江证券 2025-09、民生证券 2025-10)。韩系 S&S Tech、SKC(SKE)属第二梯队。国产化:国内半导体级 blank mask 国产化率不足 5%(中信建投 2026-08),28nm 以下完全被日系垄断,EUV 基板处于禁运状态。国内掩模版厂(如龙图)直接材料中外币结算采购占比高、前五大供应商集中度超 60%,国产晶圆厂 in-house 采购甚至要承受约 100% 的中介溢价(华源 2025-09-09)——这是"卡脖子"最典型的结构:金额占比高、无处可买、没有议价权。一句话:掩模版整体国产化率已经过半(28nm 节点),但它的上游 blank 国产化率是 5% 以下——下游在国产化、上游材料还在空白,替代空间恰好落在国产替代逻辑的最后一环。
二、全球对标:价值量最集中在上游 blank 与检测,国内只能靠并购起步12 英寸 High-NA 事件最直接受益方已经很清楚,可以作为国内生态的定价锚:
HOYA:EUV blank 份额 70%+,且技术路线(PSM、High-NA blank)持续向它倾斜,预计份额继续扩大;mask blank 已贡献其 IT 部门收入的 40%、营业利润的 51%(FY26/3),EUV blank 收入 2025-2028E 增速被外资行上调至 28% CAGR(Bernstein 2026-08-27,目标价 35,500 日元;J.PM 2026-09-07 目标价 30,000 日元)。AGC:EUV blank 双寡头之一,英特尔系供应商。Lasertec:blank 缺陷检测(ABICS)与图案化检测(ACTIS)的独家供应商,直接受益 High-NA 检测需求(Bernstein 目标价 54,000 日元)。大摩与 J.PM(2026-09-09)都点明:12 英寸迁移要到 2030 年后才对 HOYA/Lasertec 产生实际业绩,当前更多是交易性主题(J.PM 原话是投资者将其用作 "funding trade")。对照这个价值链就知道国内缺什么:blank 成品(Hoya/AGC/SKE 的位置)、基板材料(信越/HOYA 的位置)、检测设备(Lasertec 的位置)三样全是零。其中 blank 成品的技术壁垒是"基板清洗→镀膜→涂胶→检测"的全流程工艺 Know-how 加客户认证,靠纯自研从 0 起步要 5 年以上且几乎没有容错(国内 KrF PSM 至今仍停留在送样阶段)。所以聚和收购 SKE 的战略含义很清楚:用 3 亿元级别的对价,买下国内自研需要十年才能追上的工艺资产与客户认证,把"国产替代"的时间窗口从 2030 年提前到 2027 年。这是这条路线上唯一现实的切入方式,也是稀缺性的来源。
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