当芯片制造从“平面造城”升级为“立体摩天大楼”,楼层(堆叠层数)的倍增,必然带来对上游核心耗材与设备的“倍量级”需求爆发。以下为你梳理的,正是这条“立体造芯”产业链上最受益的个股掘金图:
逻辑叠层需要在多层结构中打出极深极窄的孔洞(TSV硅通孔),并反复进行薄膜的“加法”堆叠,这直接引爆了对刻蚀和沉积设备的刚需。北方华创(002371):作为国内半导体设备的平台型龙头,其刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备全栈覆盖。在3D堆叠多层电路制备中,北方华创的核心设备将深度受益于国内产线的设备升级与扩产。中微公司(688012):国内刻蚀设备的绝对龙头。逻辑折叠带来的高密度互连工艺,对超高深宽比刻蚀提出了指数级要求,中微公司的CCP/ICP刻蚀机已成为解决这一工艺瓶颈的刚需设备。拓荆科技(688072):薄膜沉积(PECVD)设备市占率领先。3D堆叠意味着更多的电路层,拓荆科技的设备是制造这些多层电路的核心,且已深度绑定中芯国际等代工厂。
层数越多,对每一层的洁净度和表面平整度要求就越苛刻,任何微小的颗粒或起伏都会导致整颗芯片报废。盛美上海(688082):半导体清洗设备龙头。在先进封装和3D堆叠产线中,清洗是贯穿始终的刚需环节,盛美上海凭借技术优势直接受益于产线扩产。华海清科(688120):国内CMP(化学机械抛光)设备龙头。3D堆叠和混合键合对晶圆表面的原子级平整度要求极高,CMP设备的需求量将随堆叠层数同步爆发。安集科技(688019):CMP抛光液龙头,同时覆盖功能性湿电子化学品。作为抛光环节的绝对核心耗材,其抛光液和光刻胶去除剂已深度配套国内先进制程产线。
虽然韬定律绕开了EUV光刻机,但立体堆叠意味着光刻胶的涂覆次数大幅增加,且对适配成熟制程的高端光刻胶及沉积用电子特气需求更旺。
彤程新材(603650):国产KrF光刻胶市占率第一,且具备ArF干法光刻胶的量产能力。在逻辑叠层反复的图形化处理中,高性能光刻胶的消耗量与价值量将双重提升。南大光电(300346):国内率先实现ArF光刻胶规模化量产的企业之一,同时在高纯磷烷、砷烷等电子特气领域处于领先地位,完美契合刻蚀与沉积环节的耗材增量。雅克科技(002409):半导体材料平台型龙头,在前驱体材料(用于薄膜沉积)、电子特气以及湿电子化学品领域均有深厚布局,全方位受益于立体造芯的材料迭代逻辑折叠最终要依靠先进封装来实现物理落地,这对IC载板以及各类封装胶材提出了极高的要求。深南电路(002916):国内FC-BGA载板的核心供应商,且是麒麟芯片封装的关键材料独家认证方。3D堆叠对高密度互连基板的需求激增,深南电路卡位极准。回天新材(300041):华为全球胶粘材料的唯一战略合作伙伴。其底部填充胶打破了日本垄断,已批量应用于华为麒麟芯片的3D封装,是保障多层芯片堆叠机械强度的关键“胶水”。
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