一、金属工艺腔体/内衬/匀气盘（设备内部高价值工艺大件）1、富创精密 688409核心产品：真空反应腔体、内衬、匀气盘、加热基座、特种涂层结构件、设备内置Gas Box，覆盖7nm先进制程刻蚀/PVD/ALD/清洗全设备国产市占：半导体工艺金属零部件国产42%；存储设备配套份额90%以上细分国内市场空间：精密金属工艺零部件赛道96亿元供货整机厂：北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、万业企业、芯源微、华海清科；同步供货AMAT、泛林海外设备巨头2、先锋精科 688605核心产品：刻蚀/薄膜腔体、内衬、匀气盘、陶瓷加热基座金属载体国产市占：高端金属内衬国产12%细分国内市场空间：精密金属工艺零部件赛道96亿元供货整机厂：北方华创、中微公司、拓荆科技、华海清科3、华亚智能 003043核心产品：设备传输腔、过渡腔、机架结构件、普通金属结构件，高端工艺腔体配套规模偏小国产市占：通用设备结构件国产约30%细分国内市场空间：精密金属工艺零部件赛道96亿元供货整机厂：北方华创、拓荆科技、盛美上海
二、高纯气路模组、阀门、设备内置Gas Box（设备本机流体组件）1、富创精密 688409核心产品：设备配套小型气柜、高纯阀组、内置流体模组国产市占：设备内置气体模组国产25%细分国内市场空间：设备内置气路配套42亿元供货整机厂：全品类国产前道设备整机厂全覆盖2、正帆科技 688596核心产品：设备配套Gas Box、高纯阀组、真空管路模组；同步做厂区大型IGS供气总包国产市占：设备配套Gas Box国产20%；全厂流体系统国产35%细分国内市场空间：高纯流体系统42亿元供货整机厂：北方华创、拓荆科技、盛美上海3、新莱应材 300260核心产品：高纯隔膜阀、真空法兰、小型管路模组，极少供给设备内部工艺腔体国产市占：半导体超高纯管阀件国产28%细分国内市场空间：半导体真空&流体零部件整体250亿元，管阀细分60亿元供货整机厂：间接配套北方华创、中微公司、盛美上海，无机台核心工艺件供货
三、刻蚀专用硅/碳化硅功能耗材（刻蚀机刚需易损件）1、神工股份 688233核心产品：16英寸以上大直径高纯硅棒、硅聚焦环、硅电极、硅喷淋头国产市占：高端刻蚀硅零部件国产35%；16英寸大硅棒全球市占30%细分国内市场空间：半导体硅零部件细分市场70亿元供货整机厂：中微公司、北方华创两大刻蚀龙头，批量配套刻蚀设备产线2、臻宝科技 688797核心产品：硅上部电极、CVD碳化硅环、石英气体分配盘、再生涂层服务国产市占：本土硅零部件市占第一；石英零部件本土市占8.8%细分国内市场空间：硅/碳化硅/陶瓷功能零部件合计116亿元供货整机厂：中微公司、北方华创、拓荆科技
四、高纯石英零部件（刻蚀、薄膜、炉管设备通用耗材）1、菲利华 300395核心产品：合成石英环、喷淋盘、扩散石英件、刻蚀腔体石英部件国产市占：半导体高纯石英零部件国产28%细分国内市场空间：半导体石英零部件整体46亿元供货整机厂：北方华创、拓荆科技、盛美上海、华海清科2、凯德石英 835179核心产品：炉管专用高纯石英舟、扩散石英管路配件国产市占：炉管石英零部件国产38%细分国内市场空间：半导体石英零部件整体46亿元供货整机厂：北方华创炉管热处理设备线
五、陶瓷/静电卡盘高端功能件（先进制程高附加值部件）1、江丰电子 300666核心产品：静电卡盘ESC、氧化铝陶瓷绝缘件、陶瓷基座国产市占：静电卡盘国产8%细分国内市场空间：静电卡盘国内52.1亿元供货整机厂：逐步批量导入北方华创、中微公司刻蚀/PVD设备2、珂玛科技 301611
核心产品：氮化铝陶瓷加热器、氧化铝绝缘陶瓷件国产市占：陶瓷加热器国产10%细分国内市场空间：半导体陶瓷零部件38亿元供货整机厂：北方华创、中微公司、拓荆科技批量配套
六、电气配套零部件（射频电源、匹配器、精密温控、真空辅机）1、英杰电气 300820核心产品：刻蚀/薄膜设备射频电源、射频匹配器（中低功率批量交付，高功率验证）国产市占：中低功率射频电源国产60%细分国内市场空间：半导体射频电源国内68.3亿元供货整机厂：北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海全覆盖2、同飞股份 300990核心产品：半导体精密冷水机Chiller，适配全品类前道设备温控国产市占：半导体精密温控设备国产45%细分国内市场空间：半导体温控设备27亿元供货整机厂：国内全部通用前道设备整机厂批量配套3、京仪装备 688652核心产品：干式真空泵、真空机组、晶圆传输辅机国产市占：晶圆真空辅机国产50%细分国内市场空间：晶圆辅机22亿元供货整机厂：北方华创、中微公司、拓荆、盛美、万业企业全部设备厂商
七、梯队划分（对前道整机厂供货体量排序）第一梯队（全设备全覆盖、大额稳定批量）：富创精密688409第二梯队（刻蚀/薄膜设备深度绑定，工艺件主力）：先锋精科688605、神工股份688233、菲利华300395、英杰电气300820、第三梯队（气路阀件/陶瓷/温控/真空辅机细分配套）：正帆科技688596、珂玛科技 301611、新莱应材300260、同飞股份300990、京仪装备688652、臻宝科技688797、凯德石英835179、华亚智能003043、江丰电子300666
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