2、布局前道晶圆&后道先进封装设备:除了大硅片设备外,#晶盛还布局了前道晶圆设备如EPI(还可以做光芯片的沉积)、ALD、离子注入、后道先进封装设备如切磨抛、键合等、已进入国内外先进客户端积极验证ing。
3、半导体设备零部件定位高端:自2017年起累计投入10e,专注大腔体、高精密SiC/石英/金属零部件,既为自有设备配套,也面向国内设备厂商,去年收入约5-7e,#近期又更换募集资金6亿+投向半导体装备精密零部件智能化生产项目、2亿元投向高端半导体设备碳化硅零部件产业化项目。
4、#AI散热领域布局氮化硅陶瓷、金刚石、碳化硅等: 晶盛首条氮化硅陶瓷材料产线已经通线,氮化硅陶瓷具备良好的热膨胀系数,可用于芯片、轨道交通与智能电网等多个领域;子公司晶信绿钻依托自主装备,实现了面向芯片散热的金刚石热沉片的开发;碳化硅SiC26年底90万片产能达产,新能源车、先进封装、HVDC、AR眼镜等领域持续推进ing。
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