3D NAND用钼材料级别及国内供应链全景

2026-06-11 21:30:3423

一、海力士和三星使用的钼材料级别与类型

1. 核心纯度要求

半导体级超高纯钼,统一要求达到5N-6N级别(99.999%-99.9999%),其中:

✅金属杂质总含量<1ppm,放射性元素(铀、钍)含量<1ppb

✅颗粒度控制在0.1μm以下,氧含量<50ppm

✅这一纯度要求远高于工业级钼(3N-4N)和光伏级钼(4N-5N),是整个产业链中技术壁垒最高的环节


2. 两大核心材料类型及应用

3D NAND钼字线工艺同时使用钼前驱体和钼靶材两类材料,其中前驱体是卡脖子核心:


关键区别:

✅三星采用泛林集团单片式设备,主要使用二氯二氧化钼前驱体

✅SK海力士采用东京电子炉式设备,同时使用二氯二氧化钼和六羰基钼两种前驱体

✅两家公司的钼靶材主要用于非字线的其他金属互连环节


二、国内具备生产能力的公司及供应情况

1. 钼前驱体(技术壁垒最高,国产化率<10%)

已实现量产并供应海力士/三星:

雅克科技(002409):


通过全资子公司韩国UP Chemical生产6N级二氯二氧化钼,是全球该产品的龙头企业,2025-2026年市占率达65%-70%


已完成三星、SK海力士、长鑫存储全流程技术认证,2026年Q2开始正式放量供货


SK海力士已签订长期供货协议,每月出货量稳步提升;三星电子和长鑫存储也已启动批量采购


国内宜兴基地新建产线预计2026年Q3投产,将进一步满足需求


处于验证/中试阶段:

中船特气(688146):


6N级六羰基钼处于中试/小批量认证阶段,预计2027-2028年进入规模化生产


是国内唯一具备六羰基钼工业化生产潜力的企业


飞凯材料(300398):


二氯二氧化钼产品已送样海内外头部存储厂验证,适配SK海力士、三星新一代3D NAND工艺


目前尚未进入量产供货阶段


2. 钼靶材(国产化率约30%,进展快于前驱体)

已实现批量供货:

隆华科技(300263):


子公司四丰电子是国内钼靶龙头,6N高纯钼靶已批量供货三星存储(包括DRAM、3D NAND、HBM)


2025年6月通过三星全流程品质稽核,2026年1月正式导入供应商名录并启动批量供货


正在推进SK海力士和美光的认证工作


国内市占率超50%,同时深度绑定长江存储、长鑫存储


有研新材(600206):


子公司有研亿金具备6N级别超高纯钼金属自主提纯和靶材一体化生产线


高纯钼靶产品已完成韩国三星、SK海力士两家海外头部存储企业全流程工艺认证,现阶段已进入小批量送样、阶段性供货状态


产品参数可匹配375层及以上堆叠NAND钼字线薄膜沉积使用需求


具备生产能力,正在认证:

金钼股份(601958):


国内唯一实现"钼矿采选-4N/5N高纯钼粉-12英寸半导体钼靶"全产业链闭环的企业


5N级半导体钼靶通过台积电、中芯国际认证,2025年11月与中芯国际签订5年超10亿元长协


目前主要供货国内存储厂,尚未明确进入海力士和三星供应链


安泰科技(000969):


子公司安泰天龙主营5N级高纯钼坯、钼丝、钨钼复合靶基材


隆华科技江丰电子等国内靶材企业的上游核心原料供应商


高纯钼坯已送样SK海力士、三星存储实验室验证


江丰电子(300666)、阿石创(300706):


均已实现6N高纯钼靶量产,正在向海力士、三星送样验证,尚未进入批量供货阶段


三、已确认直接供应海力士和三星的国内公司汇总


四、关键说明

1. 前驱体是核心瓶颈:目前全球半导体级钼前驱体市场仍由默克、液化空气、英特格三家海外巨头主导,国内仅雅克科技通过收购韩国UP Chemical实现了突破并进入全球供应链

2. 靶材国产化进展更快:国内已有多家企业实现6N钼靶量产并进入三星、SK海力士供应链,但高端靶材的市场份额仍低于日美企业

3. 原料供应充足:中国是全球最大的钼生产国,占全球产量的40%以上,金钼股份洛阳钼业等企业具备充足的上游资源保障

4. 认证周期长:半导体材料的认证周期通常为1-2年,一旦进入供应链,客户粘性极高,不会轻易更换供应商



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