至纯科技:半导体领域的洁净工艺先锋

2026-07-08 13:53:492

在全球半导体产业链国产化浪潮中,至纯科技(上海至纯洁净系统科技股份有限公司,股票代码603690.SH)作为一家深耕20余年的本土企业,正以“至臻至纯”的追求,展现出强大的技术实力与产业担当。公司成立于2000年,总部位于上海闵行紫竹高新区,已发展成为国内半导体湿法清洗设备和高纯工艺系统领域的领军者,为晶圆厂提供从洁净室EPC到高纯工艺系统、湿法清洗设备,再到大宗气体运营的全生命周期服务。
半导体制造对洁净度和工艺精度要求极高,每一道制程都需严格控制污染物。至纯科技的核心强项正是围绕“核心工艺、服务关键制程”展开。高纯工艺系统是其传统优势业务,国内12英寸晶圆特气设备市占率高达46.9%,出货量超过16000台,为泛半导体及生物医药等领域提供超高纯度介质输送解决方案。 在湿法清洗设备领域,公司是国内少数能覆盖28nm及更先进制程全系列湿法工艺的本土供应商,槽式与单片式设备均支持8-12英寸晶圆,已成功应用于中芯国际、华虹、长江存储等头部客户产线,显著提升芯片良率与生产效率。
至纯科技的突出优势在于“工艺—设备—材料”三位一体的完整布局。通过持续高强度研发(研发人员占比约25%),公司突破了多项关键技术,获得近千项专利,并斩获上海市质量金奖、制造业单项冠军等荣誉。近年来,电子材料业务高速增长,与梅塞尔等国际巨头合作布局大宗气体,进一步增强供应链韧性。同时,晶圆再生等服务业务也助力客户降低成本、实现循环利用。
在半导体国产替代的关键时期,至纯科技凭借技术创新、客户信任和全链条能力,不仅填补了高端湿法设备等领域的空白,更以“行则将至,淬炼以纯”的信念,推动中国半导体产业自主可控。未来,随着先进制程扩产加速,这家洁净工艺专家将继续淬炼实力,为芯片制造的“至纯”环境保驾护航。
至纯科技的故事,是中国半导体装备企业从跟随到并跑的生动缩影。其强项不仅在于单点技术突破,更在于系统性解决方案与长期主义精神,必将在全球竞争中绽放更大光彩。

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