芯片刻刀+6N级高纯氟化氢,深度布局的2家

2026-07-23 14:46:5116
7月19日,滨化集团宣布,旗下大晟芯材6N级高纯氟化氢实现规模化量产,一举打破海外20年的垄断。


高纯氟化氢是芯片蚀刻、清洗环节不可或缺的原料,被誉为半导体产业的“化学雕刻刀”。6N级更是28nm及以下先进制程的必需品,全球约80%份额垄断在西方厂商手中。

当前6N级氟化氢价格超200万元/吨,是G5级电子氢氟酸的150倍。SEMI数据,2028年大陆12英寸晶圆月产能预计超350万片,是当前145.8%。6N级作为28nm以下制程的刚需耗材,需求同比增加。

本期主要围绕“6N高纯氟化氢的技术进度”,梳理国内真正在该赛道深度布局的两家公司,供大家参考。

1、滨化股份

国内唯一实现6N高纯氟化氢气体量产的企业

✅️6N高纯氟化氢进度:已量产

旗下大晟芯材完成50吨/年钢瓶充装线建设,取得山东省气瓶充装许可证,具备完整生产、充装、销售资质,已向国内外重点客户展开产品推介。

同日,公司G5级电子级氢氟酸通过中国化工学会“国际先进水平”评价,已导入14nm制程客户。

✅️公司实力

公司始建于1968年,深耕化工五十余年。

公司在三氯乙烯(市占率36%)、四氯乙烯(41.4%)、氯丙烯(23.8%)三个细分领域均为国内第一,环氧丙烷和MTBE均为国内第二。


在湿电子化学品领域,滨化拥有G5级电子级氢氟酸产能6000吨/年,2025年产能利用率达106.7%,国内市占率约9.6%,位列国内第五。

7月10日,滨化股份在港上市,募资中的10%用于阳信高端电子化学品基地建设。项目投产后,电子化学品总产能将提升至2.3万吨/年。

✅️半年报业绩

据7月7日业绩预告,2026年上半年归母净利润预计约3.44亿元,同比增长208.25%。增长主因是全球化工原料涨价。

2、中船特气

国内电子特气收入第一,最接近6N的追赶者

✅️6N高纯氟化氢进度:5N已量产

中船特气高纯氟化氢纯度达5N,高纯氯化氢纯度达5N5,均应用于集成电路清洗和刻蚀工艺。

注:5N5纯度,意味着在气体纯化领域已半只脚跨进6N门槛。

✅️公司实力

电子特气收入规模,国内第一,全球第九。

从技术储备看,公司拥有电解氟化、精馏、吸附、痕量杂质分析等9项核心工艺,累计发明专利237项。2026上半年新增61项。

半年报披露的在研项目中,至少3个涉及高纯含氟/无机气体,其中一项“集成电路用高纯气体合成工艺”已进入中试阶段,完成度40%。

产能布局方面:三氟化氮年产能18500吨,居全球前列;六氟化钨年产能2000吨,全球最大,另有1000吨扩产项目推进中。

公司产品品类多达98种,覆盖刻蚀、沉积、光刻、离子注入等芯片制造全工序。


✅️半年报业绩

2026年上半年,营收19.04亿元,同比增长83.13%;归母净利润3.48亿元,同比增长95.63%。

另注意:

昊华科技——有6N能力

已量产6N氯气、6N氯化氢,供应中芯国际、华虹集团;六氟化钨、六氟丁二烯均达5N-5N5。

如果想切HF气体赛道,技术底子是够的。但已公开澄清“公司及下属子公司未生产电子级氢氟酸(含气体形态)”。

华特气体——氟碳类气体有储备,无HF气体

主攻氟碳类刻蚀气体,锗烷等已批量供应三星、台积电,氟化氢气体未见布局。

金宏气体——氟碳类起步,无HF气体

六氟丁二烯200吨/年在产,氟碳类气体二期在建,主攻超纯氨、氧化亚氮、正硅酸乙酯等,高纯氟化氢未见布局。

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