电子气体是半导体工厂用量最大、全覆盖全制程的基础高纯气体，单厂日均消耗量巨大，依靠现场空分装置、低温储罐持续不间断供气，是晶圆厂的 “基础空气”，一旦断供整条产线停工。一、 氦气
在光刻、刻蚀和沉积等核心工艺中，等离子体轰击会产生巨大热量。氦气具有极高的热导率，常被充入晶圆与静电卡盘之间仅几微米的缝隙中，在几微秒内实现均匀导热，将温度精确控制在±0.5℃以内。这能有效防止硅片因过热或温度不均发生翘曲变形，确保纳米级电路刻蚀的稳定性和良率。
华特气体：国内唯一实现 6N（99.9999%）半导体级高纯氦气量产的企业，旗下稀混光刻气为全球仅4 家、国内独家同时拿下 ASML+Gigaphoton 双原厂认证，写入光刻机官方耗材名录，是国内先进光刻环节国产化核心标的，高端半导体氦气国产供给市占率领先，深度绑定国内头部晶圆厂，攻克 EUV 设备氦制冷耗材国产壁垒。水发燃气：鄂尔多斯基地国内首个商业化 LNG-BOG 尾气提氦项目，现有稳定量产5N 级高纯氦气产能 20 万方 / 年，2025 年实际产出 17.94 万方，产能利用率接近满产。九丰能源：九丰能源是国内规模最大的自产氦气企业，依托内蒙古森泰（50万方/年）与四川泸州（100万方/年）两大基地，总产能达到150万标方/年，占据国内民营提氦总产能的30%以上。二、 六氟化钨
六氟化钨的核心任务是通过化学反应，精准地在晶圆表面沉积出高纯度的金属钨薄膜。这些钨薄膜被用来铺设芯片内部比头发丝细千倍的金属导线，将数以百亿计的晶体管连接起来，确保电信号的高速传输。
和远气体：公司在湖北宜昌产业园规划的500吨/年6N级高纯六氟化钨生产线，已于2026年4月顺利完成试生产，目前正与国内多家半导体企业开展验厂及产品资质认证工作。中船特气：公司现有产能达2000吨/年（实际有效产能约2200吨以上），稳居全球第一，国内市占率高达70%以上。凭借全球唯一稳定量产7N级超高纯产品的技术壁垒，公司已全面打入台积电、三星、SK海力士等全球头部晶圆厂供应链。中巨芯：公司通过控股子公司博瑞中硝（博瑞电子持股51%）实现了600吨/年6N级六氟化钨的规模化量产。三、高纯二氧化碳
高压高温下 CO₂变为超临界流体，兼具液体溶解能力 + 气体极低表面张力，能钻进纳米级深沟槽、通孔、高低落差结构内部。作用是清除刻蚀后光刻胶残渣、金属副产物、有机污染物、微小颗粒；芯片制程进入7nm及以下，或3D NAND等存储芯片层数不断增加，内部线路和沟槽极其微小。传统水洗或化学清洗因表面张力无法深入，而超临界CO₂能轻松渗透，彻底清除光刻胶残留、金属杂质和纳米颗粒。金宏气体：公司率先实现6N级别高纯CO₂稳定量产，自研双塔深度精馏提纯核心工艺，产品适配12英寸晶圆超临界清洗与先进封装。客户壁垒极高，已批量供货中芯国际、长鑫存储、台积电； 深度绑定 SK 海力士无锡工厂 TGCM 全气体总包服务。电子级高纯二氧化碳产能为2.6万吨/年。凯美特气：公司牵头参与制定《电子级二氧化碳》国家标准，具备5N至6N级的电子级高纯CO₂生产能力，产品已成功导入中芯国际、长江存储、华虹等国内头部晶圆厂；电子级高纯二氧化碳产能为1.5万吨/年。广钢气体：公司实现了5N级电子级CO₂的量产，并成为全球第二家、中国第一家商业化应用超临界二氧化碳工艺系统的提供商；电子级高纯二氧化碳产能1.2万吨/年，将新增产能3万吨。四、 三氟化氮
三氟化氮在等离子体作用下，会高效裂解为高活性的氟自由基。这些氟自由基就像一把微观的“无影手”，对多晶硅、氮化硅、钨及其化合物等材料具有极高的刻蚀速率和选择性，能够精准地在晶圆上“雕刻”出纳米级的线路。
中船特气：公司三氟化氮总产能18500吨/年，超越韩国SK Specialty，正式成为全球最大的三氟化氮供应商，全球市占率超25%。昊华科技：子公司黎明化工研究院在氟化工领域的深厚技术积淀，公司现有三氟化氮产能达1.2万吨/年，稳居全球第一梯队。南大光电：公司现有三氟化氮产能约9200吨/年，位列国内前列，乌兰察布基地2000吨5.5N高纯三氟化氮产线已于2026年6月试产。五、二氯二氢硅
二氯二氢硅主要用作优质的硅源前驱体。在化学气相沉积（CVD）工艺中，它能在晶圆表面发生反应，精准地沉积出各种关键薄膜，包括外延膜、碳化硅膜、氮化硅膜、氧化硅膜和多晶硅膜等。
三孚股份：国内少数实现电子级二氯二氢硅（DCS）规模化量产的企业，公司现有产能达500吨/年，成功打入中芯国际等国内主要晶圆厂供应链。华塑股份：已规划5000吨/年电子级二氯二氢硅产能，目前已完成前期可行性研究。六、六氟丁二烯
六氟丁二烯主要作为等离子体刻蚀气体。它具有刻蚀速度快、选择性高、深宽比优异的突出特点，能够实现近乎垂直的精细刻蚀。在制造小体积、大容量的3D NAND闪存以及14nm及以下先进制程的逻辑芯片时，它能在纳米级线宽条件下实现高精度图案转移，同时将对基底材料的损伤控制在最低水平。
昊华科技：作为全球唯一实现超高纯度六氟丁二烯规模化量产的企业，公司现有年产能达1200吨，全球市场占有率高达57%，国内市场占有率更是超过90%，稳居全球第一。华特气体：在建六氟丁二烯合成项目，重点推进ASML认证与海外客户导入。南大光电：控股子公司飞源气体稳步推进产业化进程，项目整体规划为100吨/年产能。七、四氟化碳
在化学气相沉积（CVD）等工艺中，腔室内壁和组件上常会附着不需要的硅基薄膜残留物。四氟化碳等离子体能够高效挥发并清除这些残留物，防止颗粒污染和工艺漂移。
雅克科技：子公司成都科美特现有四氟化碳总产能已达2000吨/年，稳居国内前列。昊华科技：子公司昊华气体在含氟电子气体领域的深厚技术积淀，公司现有四氟化碳产能达1000吨/年，市场份额稳居全国前三。八、电子特气设备
特气设备是特气系统的“控制中枢”，主要用于对易燃、易爆、有毒及超高纯气体进行智能控制与安全防护。现代特气柜通常集成自动吹扫、真空置换、多级调压、泄漏监测及远程紧急切断等功能，确保气源的安全切换与稳定输送。雪人集团：国内大型工商制冷压缩机领域的领军企业，设备能够完美适配电子级二氧化碳精制、超临界萃取等高精尖场景。中泰股份：深冷分离技术，已成功布局稀有气体（如氪、氙）的提取与纯化装备。蜀道装备：公司实现了高纯二氧化碳捕集、分离、液化成套设备的100%国产化，彻底打破了海外“卡脖子”环节，并深度绑定煤化工与LNG尾气资源，为下游气体厂商提供稳定的设备总包服务。免责声明：本文仅为行业、题材、公司研究分享，不构成任何投资建议、交易指导或行情预测。市场有风险，投资需谨慎。
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