在核心晶圆传输部件领域,公司产品主要通过国产头部设备厂间接配套导入三大晶圆厂产线。其两轴、三轴真空直驱机械手重复定位精度达 0.02mm,已随北方华创、中微半导体、拓荆科技等厂商的刻蚀、薄膜沉积设备,批量进入中芯国际、长江存储成熟制程产线,2022 年即拿下长江存储首批批量订单,打破海外厂商垄断;长鑫存储扩产项目也通过设备厂配套逐步渗透。同时公司 EFEM 及大气机械手完成全流程自研,随国产设备整机同步导入三大晶圆厂大气端工序,承担晶圆取放、对准与洁净传输功能。
在厂级洁净物流方向,公司洁净搬运机器人、FOUP 转运系统等产品直接服务三大晶圆厂车间级物料流转,支撑产线自动化升级。当前海外 EFEM 与真空机械手供给持续紧张,交期拉长至 8 个月以上且价格上行,供应链安全诉求推动国产替代从 “可选” 转向 “刚需”。作为国内少数同时掌握大气与真空晶圆传输技术的厂商,公司在三大晶圆厂成熟制程的渗透率持续提升,后续随先进制程验证推进,业绩弹性有望进一步释放。作者声明: 本文转载自第三方,旨在提供资讯参考,并非证券推荐或投资建议。作者对内容的真实性、准确性不承担保证责任。本文不构成任何投资建议或证券推荐。截至发文日,作者与文中提及的标的不存在持仓关系。