射频电源（RFPowerSupply）：高技术壁垒核心零部件
电源：给电气或电子设备提供电力的装置，主要作用是将电网、发电机、电池等发出的一次电能转换为可供用电设备使用的二次电能。电源按输出类型可分为直流电源和交流电源，而交流电源按照频率大小可以分为中频电源、射频电源、微波电源。
射频电源：可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。
射频电源应用领域：射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域也有应用。
以一台12吋刻蚀机为例，有8个腔，每个腔体有上电极和下电极，每个电极有一台射频和一台匹配器，共32台射频和匹配器。一台刻蚀机在射频电源和匹配器上的采购需要花费几百万，占一台设备总成本的12%左右。
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