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光刻机被誉为半导体工业“皇冠上的明珠”，单台设备包含超过十万个零部件，是迄今为止人类制造的最复杂的精密设备之一。在前道制造的全部环节中，光刻机的整机国产化率不足1%，是所有半导体设备中最低的环节——这意味着它同时也是国产替代空间最大的环节。
一、光刻机的四大核心系统
一台光刻机的核心功能由四大系统协同完成：
光源系统决定曝光波长。从早期汞灯的436nm（g-line）到KrF的248nm、ArF的193nm，再到EUV的13.5nm，波长越短，光刻分辨率越高。当前先进制程主要依赖193nm ArF准分子激光器（通过浸没式技术等效缩短波长）和13.5nm EUV光源。
照明系统负责匀光和剂量控制。将激光器发出的原始光束进行扩束、整形、匀化，确保晶圆表面接收到的光强分布均匀，同时精确控制曝光剂量。
投影物镜是光刻机的“眼睛”，负责将掩膜版上的电路图案以极高的精度缩小投影到晶圆表面。这是光学系统中工艺门槛最高的环节，一套先进光刻机的投影物镜可能包含数十片超高精度镜片，镜片面形精度要求达到纳米级。
双工件台负责晶圆的精密定位与高速步进，直接影响产率和套刻精度。光刻机在工作时，一片晶圆在曝光的同时，另一片晶圆在进行对准和测量，两者并行不悖。
制程越先进，光学系统在整机价值中的占比越高。曝光物镜镜片组又是其中工艺门槛最硬的一段。
二、ASML中国区占比的变化
2026年第一季度，ASML在中国大陆的系统销售占比从2025年第四季度的36%骤降至19%。全年指引中国区占比约20%。这一变化背后，既有出口管制政策的影响，也有国产替代加速推进的现实——存量设备的维护和成熟制程的配套需求，正在为国内零部件厂商提供持续的订单来源。
三、产业链各环节的核心公司
下面来看几家在光刻机产业链中逻辑较为清晰的公司案例。
茂莱光学（688502） 是国内稀缺的DUV光刻机投影物镜镜片量产标的。公司深度绑定上海微电子，是i线光刻机曝光物镜镜片的独家供应商，并正向量产DUV镜片迈进。2025年公司实现营业收入6.91亿元，同比增长37.42%；2026年一季度营收1.83亿元。公司已切入ASML的二级供应链。
福晶科技（002222） 是全球非线性光学晶体的龙头企业，其LBO（三硼酸锂）和BBO（低温相偏硼酸钡）晶体在全球市场的占有率超过70%至80%。在光刻机领域，其深紫外晶体材料是193nm ArF准分子激光器的核心部件。公司产品已通过国产光源龙头科益虹源的验证，子公司独家供货上海微电子光场匀化器。
波长光电（301421） 在光刻机平行光源系统领域有布局，已交付多套相关系统，并已具备光刻机配套大孔径光学镜头的量产能力。2026年7月20日，公司发布半年度业绩预告，预计上半年归母净利润2600万至2900万元，同比增长82.65%至103.73%。
炬光科技（688502） 多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器。公司产品已覆盖KrF、ArF、ArF浸没式机型，同时应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。
奥普光电（002338） 是长春光机所的技术转化平台，其子公司禹衡光学的高精度光栅尺在半导体前道设备（包括光刻机、量测设备）领域已获得头部客户的验证通过并取得首张批量订单。2026年一季度，公司营业收入同比增长36.45%，归母净利润同比增长125.11%。公司预计2026年上半年归母净利润5860万至6785万元，同比增长90%至120%。
腾景科技（688195） 的合分束器等项目应用于光刻机光学系统。公司预计2026年上半年归母净利润4800万至5200万元，同比增长31.19%至42.12%。
此外，张江高科（600895） 参股上海微电子10.78%，其光刻机弹性主要体现在股权价值层面。永新光学（603297） 的LDI光刻机镜头对应PCB直写光刻和封装场景，并非前道扫描光刻。海立股份的冷却系统、蓝英装备的清洗系统、菲沃泰的纳米镀膜等属于外围配套环节。
四、产业节奏的三个时间节点
2026年内：5台整机交付叠加中报季，零部件环节的业绩兑现将继续快于整机。波长光电上半年净利预增超80%、奥普光电净利预增超90%，已经验证了这一趋势。
2027年：20台整机的交付进度是关键分水岭。同时，相关政策的进展将决定国产整机从“备胎”变为“刚需”的速度。
2028年以前：ASML中国区占比从约33%降至约20%，留下的存量维护和成熟制程配套空档，将率先由零部件和成熟制程机型填补。整机的先进制程突破是更靠后的故事。
几点观察
光刻机产业链的业绩兑现顺序非常清晰——零部件订单已经落地，整机交付刚刚开始，业绩弹性从前到后依次传导。国产化率从不足1%起步，意味着每一个百分点的突破都对应着可观的增量空间。
茂莱光学在投影物镜镜片领域的量产突破、福晶科技在全球光学晶体市场的垄断地位、波长光电和奥普光电在中报中的业绩验证，都指向同一个方向：光刻机零部件的国产替代已经进入了订单和利润的兑现阶段，而整机的规模化突破，还需要更长时间来验证。
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