核心逻辑 1|需求侧的支撑来自"工序变多",而不是"产线变多"。
同样是月产 1 万片的 12 英寸产能,成熟制程大约需要 25 台刻蚀设备,先进制程可能增加到 60 台左右。背后的原因有两层:一是线宽收窄带来的工序数上升——28 纳米约 40 道刻蚀,7 纳米附近约 140 道;二是先进光刻环节的缺失,精细电路要靠多重图形化来完成,每多一次图形加工,通常要配套多一道刻蚀、多一道沉积。设备需求因此被结构性放大。
核心逻辑 2|供给侧的关键是"能不能留下来",而不是"有没有人买"。
半导体设备进线需要跑完整的工艺验证。一旦进入量产,客户已经围绕它建立了参数与流程,更换供应商意味着重新验证,牵涉到停产成本与良率风险。所以份额的变化通常慢,但一旦形成,粘性也强。境内晶圆制造设备的本土采购比例约 26%–27%,部分新建晶圆厂已经超过 40%,存储新线的比例更高——这个空间更多是属于已经在产线内的那些厂商。
核心逻辑 3|真正的变量是"可服务的边界",而不是单一品类的价格。
这家企业正在从刻蚀向沉积、抛光、检测延展。野村测算,把 PVD、涂胶显影、检测、CMP 等新产品都算进去,它在境内可参与的市场规模将扩大约 82%。注意这是潜在可服务市场口径,不是订单、也不是收入预测——后面能不能兑现,取决于每一件新产品能否走过验证这道门。
国内存储厂与晶圆厂的产能扩张,是这几年设备需求的底盘。长江存储走 3D NAND 堆叠路线,层数往上走,深孔刻蚀和薄膜沉积的工序就在同步增加;长鑫存储的工艺升级与新线建设,则是另一条 DRAM 侧的拉动量。中芯国际、华虹集团是逻辑与特色工艺的主要载体。
但要注意一件事:需求存在,与需求能落到某一家厂商的账面上,中间隔着一个完整的产品验证周期。这道门槛决定了份额变化的斜率。
几个可查的口径数据:
· 本土采购比例:估算境内晶圆制造设备的国产化率约 26%–27%,部分新建晶圆厂的本土设备采购占比已超过 40%,存储领域部分新建产线的比例还要更高。
· 刻蚀环节的份额:估算 2025 年这家企业在境内刻蚀设备市场约占 27%–29%。
· 全品类口径的份额:若把光刻、沉积、清洗、检测等全部晶圆制造设备都算进去,境内半导体设备市场的份额约 4%。这一项说明的另一件事是——剩下的空间主要不在刻蚀本身。
卡脖子的位置在哪? 不在整机的设计能力,而在两端:一端是高世代设备里仍需依赖境外厂商的关键零部件;另一端是新供应商进入产线所需的验证周期。这两端都不是靠单一企业的资金投入能在短期内绕过去的。
二、产业进展实锤:可查的几个时间点下面的内容尽量只写可核实的部分。
· 累计装机:截至 2025 年底,各类设备累计装机超过 7800 个反应台;到 2026 年二季度末,进一步超过 8800 个。半年多增加约 1000 个,这个存量后续是备件与服务收入的基数。
· 收入结构:2025 年设备销售约占收入 85%,备件及服务约占 15%。后者基数偏低,是一条跟着存量走的现金流。
· 薄膜沉积放量:2025 年 LPCVD 与 ALD 设备收入同比增长 224%,占总收入比重从 2024 年的 2% 提高到 4%。野村预计 2025 年至 2028 年这块业务的年均增速约 79%——此为机构预测,属其独立观点。
· 技术节点的覆盖:CCP 设备已进入台积电 3 纳米及以上工艺生产线,也应用于 200 层以上 3D NAND 的量产。这两项是该厂商工艺能力的硬证据。
· 新品导入节奏:2026 年 9 月推出新的 PECVD 设备,目前正在国内客户处验证;PVD 设备已经交给部分客户测试;外延设备的产品种类在增加。以上节奏来自公开讨论,未经企业公告确认。
· 外延式补齐:2026 年上半年完成对杭州众硅的收购,进入化学机械抛光设备;通过投资上海睿励进入光学检测;自身还拥有电子束测量设备。涂胶显影设备已列入后续研发计划。
· 老业务的变量:受 LED 与显示行业需求疲软影响,MOCVD 设备收入此前有所下降;随着面向功率半导体等领域的新产品推出,机构预计这块业务从 2026 年开始恢复增长。
其一,存储堆叠层数的代际推进。
层数越高,深宽比越大,孔的侧壁形貌与底部尺寸越难控。这不是简单地把设备数量堆上去就能解决的问题,而是要在刻蚀和沉积两侧同步提升工艺能力。这条线一旦走通,供应链位置相对稳定。
其二,逻辑端的工序密度。
前面讲到的"25 台到 60 台"就是这条线的直接体现。它的意义在于:同样的一万片产能,在先进制程里要吃掉两倍以上的刻蚀机,这在产能统计口径之外,是设备价值量的真实抬升路径。
其三,存量换口的收入沉淀。
超过 8800 个反应台的运行基数,对应的是持续的备件更换、维护与升级。这块业务的体量跟随保有量增长,波动小于新设备销售,但它目前的收入占比只有 15% 左右,能否抬上去,取决于服务体系的铺设速度。
以下仅按工艺环节标注各家在链条中的业务位置,不构成任何推荐。
· 中微:以 CCP、ICP 两类等离子体刻蚀设备为原点,在刻蚀环节具备较深的工艺积累,产品覆盖存储与逻辑两类产线;同时向 LPCVD、ALD、PECVD、PVD 等薄膜沉积品类延伸,并通过收购杭州众硅补齐抛光、通过投资上海睿励补齐光学检测,另拥有电子束测量产品线。核心看点在于多品类平台的协同,挑战在于多条产品线同时研发带来的资源分配压力。
· 北方华创:产品线跨度较宽,覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、热处理等多个环节,规模在同业中靠前。优势是单点进客后的横向带动能力,短板是跨环节协同对管理半径要求较高。
· 拓荆科技:以薄膜沉积设备为主要方向,PECVD、ALD 是主业基本盘,并把键合设备作为另一条延伸线。优势是在沉积环节的专注度,短板是品类宽度相对有限。
· 盛美上海:以清洗装备为基础,逐步向电镀、先进封装湿法设备延展。优势是在湿法工艺上的积累与海外认证经验,短板是干法环节的参与度偏低。
· 华海清科:以抛光(CMP)与减薄装备为主要方向,处在抛光这道工序的本土供给前列。优势是抛光环节的专注与耗材联动,短板是单一工序受资本开支周期影响明显。
· 屹唐股份:干法刻蚀与去胶设备为主要方向,属于刻蚀同环节的其他重要供给方。优势是在特定工艺段的积累,短板是整体品类广度与头部平台相比仍有距离。
五、风险提示客户集中度偏高:2025 年前五大客户贡献约 75% 收入,单一大客户占比约 40%。若主要存储厂商与晶圆厂放慢扩产,设备订单会直接受到影响。关键零部件依赖:高端设备仍有部分关键件依赖境外厂商供货,采购受限可能影响整机生产与交付。同业交叉竞争:北方华创、拓荆科技、盛美上海、华海清科等都在扩展设备品类,部分厂商已进入彼此原有的领地。这家企业进入沉积、抛光、检测后,同样要面对这些对手。新品进度存在变数:设备需要通过客户验证,才有机会进入正式采购流程,之后还要完成生产、交付与验收,才能逐步形成收入。上述进展未经企业公告确认。数据来源局限:本文引用的预测数据来自第三方机构的独立观点,可能存在假设偏差。特别声明:文章内容根据公开信息整理,不作为买卖参考,如有不妥请联系删改。
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