1)光刻胶(最关键)
- KrF(248nm)/i线(365nm)常规胶:成熟制程扩产 → +30%~50%。
- 先进封装厚膜负胶(10–100μm)、RDL/Bumping专用胶:爆发 → +200%~300%。
- EUV胶:需求走弱 → 0或负增长。
2)硅片
- 12英寸成熟制程硅片:面积略增、密度上修 → +20%~40%。
- 超薄晶圆/临时键合硅片(3D用):新增量 → +100%~200%。
3)靶材(Cu、Ti、Al、W)
- 常规互连靶材:层数增多 → +30%~60%。
- TSV/3D堆叠用高纯度靶材(W、Cu):用量暴增 → +150%~300%。
4)CMP抛光液/垫
- 成熟制程平坦化:略增 → +20%~40%。
- 3D堆叠、超薄晶圆、混合键合抛光:新增高值 → +100%~250%。
5)电子特气
- 成熟制程用普通特气:+20%~40%。
- 高纯度沉积/刻蚀特气(3D/ALD用):+100%~200%。
6)掩模版
- DUV/KrF掩模:用量↑、复杂度↑ → +30%~50%。
- EUV掩模:需求↓ → 0或负增长
韬定律不追求把线宽做小,但要把“层数/互连/封装”做厚、做密、做多,因此对成熟制程材料用量温和抬升(+20%~50%),对先进封装/3D堆叠相关材料是爆发式增长(+100%~300%),而EUV级高端材料需求被弱化。
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