射频电源系统是光通信核心元器件制造的关键动力源
恒运昌的射频电源系统被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀等关键环节。在光通信产业链上游，光芯片的制造过程高度依赖等离子体工艺。以光模块中不可或缺的激光器芯片为例，其外延生长（薄膜沉积）需在真空腔体内精确控制等离子体状态，射频电源通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层，并精细地刻蚀出复杂图形。射频电源的频率稳定性、功率精度和长期可靠性直接决定了芯片加工的良品率和产品性能。特别是在7纳米及更先进制程中，对射频电源的技术要求呈指数级提升。
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