高端光掩膜版（凸版印刷 DNP、HOYA，全球市占 70%）
日系格局：先进制程相位掩膜版、EUV 掩膜基板独家供给，国内高端掩膜进口依赖 85%
一、独立第三方高端光掩膜版（A股核心）
- 路维光电（688401）
- 显示：G11最高世代掩膜版国内唯一量产，全球市占第二。
- 半导体：130–28nm布局，90nm量产，40nm/28nm验证中 。
- 清溢光电（688138）
- 显示：8.6代TFT/AMOLED高阶掩膜版，全球市占约11% 。
- 半导体：180nm量产、150nm小批量，功率半导体/MEMS方向 。
- 龙图光罩（688721）
- 纯半导体掩膜版：90nm稳定量产、65nm送样、40nm设备到位。
- 覆盖信号链/电源IC、功率器件、先进封装。
- 冠石科技（605588）
- 宁波项目：28nm产线设备到位，规划年产12450片半导体掩膜版 。
二、IDM自研高端光掩膜版（自用+代工）
- 华润微（688396）：自建光罩厂，180–90nm功率半导体/特色工艺掩膜版。
- 士兰微（600460）：内部配套180–90nm掩膜版，SiC/GaN特色工艺。
三、关键备注（2026）
- EUV（5nm及以下）：国内暂无上市公司能量产，仍由海外垄断。
- 高端显示FMM：浙江众凌科技（未上市）突破，G8.6 FMM试产。
- 格局：独立第三方以路维/清溢/龙图/冠石为主；IDM以华润微/士兰微为主。
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