1. 光源系统
具体模块：I线：高压汞灯；DUV：准分子激光器+光束传输+收集器，等；EUV：CO2激光器+光束传输+锡滴喷射器+收集器，等
成本占比：DUV为 10%-20%；EUV为 20%-30%
ASML 供应商：Cymer、Trumpf（EUV激光器）
国产供应商：科益虹源、福晶科技等
2. 曝光系统（核心部分）
成本占比：合计 30%-40%
ASML 供应商：Zeiss
国产供应商：长光所、茂莱光学（物镜+照明等）、福晶科技、波长光电（照明+光源镜片等）、福光股份（中继镜等）、腾景科技（分束器、准直器等）、炬光科技（光场匀化器）、永新光学（照明等）、菲利华（上游石英玻璃）
2.1 细分——照明系统
具体模块：光束处理（扩束器+传输）、光束整形（镜头组+MEMS转镜阵列等）、光场匀化（微透镜阵列或积分棒）、中继镜等
2.2 细分——投影物镜系统
具体模块：镜片组
3. 移动平台系统
成本占比：合计 15%-25%
3.1 细分——双工件台
具体模块：粗动台+微动台+平衡块+位置测量模块（干涉仪或光栅）
ASML 供应商：ASML
国产供应商：华卓精科、茂莱、永新（检测/定位的光学部分）
3.2 细分——掩膜台
具体模块：粗动台+微动台+平衡块+位置测量模块
国产供应商：华卓精科、茂莱、永新（检测/定位的光学部分）
4. 传送系统
细分：晶圆传送、掩膜传送
具体模块：机械臂等
成本占比：0-5%
ASML 供应商：VDL等
5. 对准系统
具体模块：工业相机+透射图像传感器+激光器+各种传感器等
国产供应商：埃科光电（工业相机）、长光辰芯（CIS）、必创科技等
6. 机械/机电一体化系统
具体模块：外壳+中框+隔震台，等
ASML 供应商：Aalberts等
7. 环境控制系统
具体模块：温度控制系统，等
国产供应商：创元科技（配套颗粒计数器）
8. 软件系统
国产供应商：东方晶源（计算光刻OPC）
9. 其他
ASML 供应商：Neways（电气控制单元）、MKS等
10. 加工设备
国产供应商：汇成真空（镀膜）、洪田股份（抛光）、华辰装备（磨床）
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