中科仪是中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司的证券简称，公司起源于20世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为其第二大股东。公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。
从行业地位来看，中科仪的稀缺性极为突出。公司是国内唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产干式真空泵企业，2023年获评国家级专精特新“小巨人”。其干式真空泵已满足14nm逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺要求，并在国内主流晶圆厂实现批量应用。在集成电路领域，中科仪是出货量最大的国产干式真空泵制造企业，也是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。
国家大基金，中科院持股
持股拓荆科技1.35%，今天收盘2200亿+
还是次新叠加半导体概念，今天先头部队托伦斯也是此概念
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