投资要点:**中科仪为国内半导体干式真空泵绝对龙头、AI晶圆制造上游刚需核心零部件标的,卡位芯片制造真空基建环节;2026下半年长江存储、长鑫存储集中投产爬坡叠加华为昇腾算力芯片全链路扩产,自上而下传导干泵采购订单落地,叠加国产替代渗透率上行,公司迎来业绩集中兑现窗口期,AI底层设备价值重估逻辑持续强化。
一、产业链定位:AI算力制造“隐形心脏”,身处晶圆前道不可替代刚需环节
1. 细分赛道位置:AI全产业链最上游制造配套,无干泵则无AI芯片量产
AI产业链传导链路:中科仪干式真空泵→北方华创/中微/拓荆等设备整机→中芯/长存/长鑫晶圆厂→昇腾GPU/HBM存储→国产AI服务器与大模型算力集群。干式真空泵是刻蚀、CVD/PVD薄膜沉积、离子注入、HBM先进键合封装四大AI芯片核心工序的必备硬件,晶圆制造15道核心工艺中11道需超高洁净真空环境,干泵直接决定芯片良率与量产可行性,属于算力扩产的刚性前置资本开支品类,行业需求具备强周期性+刚需属性。
2. 公司行业壁垒与国产稀缺性
公司依托中科院70余年真空技术积淀,国内唯一实现14nm及以下先进制程、128层+3D NAND批量供货的国产干泵厂商,打破爱德华、荏原海外巨头长期垄断(海外合计市占85%+),国内集成电路干泵整体市占12.72%、国产份额第一,牵头制定13项行业国家标准,技术+客户认证双重壁垒抬高行业准入门槛,新进入者验证周期普遍2~3年,短期难以分流头部晶圆厂订单。产品分为两大品类:①先进制程干泵(适配HBM/AI GPU,单价55~80万元/台);②成熟制程干泵(常规存储/逻辑,30~50万元/台),先进工艺机型受益AI溢价持续抬升单品价值量。
3. AI全场景全覆盖:算力逻辑+HBM存储+先进封装三重受益
产品全面适配三类AI核心产能建设:
1)AI逻辑芯片:中芯国际14nm产线批量配套,承接华为昇腾前道代工设备配套需求;
2)AI高带宽存储HBM:长存Xtacking堆叠、长鑫DDR5/HBM3产线主力国产干泵供应商;
3)先进封装:昇腾芯片2.5D/3D键合封装环节超高真空刚需配套,深度受益Chiplet国产落地浪潮。
二、核心催化一:国产两大存储龙头下半年集中扩产,锁定确定性增量订单
长江存储、长鑫存储为公司第一、第二大客户,合计营收占比超34%,存储业务占集成电路干泵收入60%以上,2026下半年两大厂新建产线集中设备进厂、装机调试,干泵招标落地形成集中订单交付。
1. 长江存储(NAND/AI存储):当前月产能20万片,武汉三期项目由原定2027年投产提速至2026Q4量产爬坡,新增月产能10万片12英寸晶圆,聚焦294层3D NAND与AI配套NAND颗粒;后续四五期规划落地后总产能翻倍。单条12寸存储产线干泵需求量300~500台,对应单厂采购金额0.5~0.8亿元,三期项目已签署框架供货协议,下半年分批交付,直接增厚公司营收。
2. 长鑫存储(DRAM/HBM):合肥、北京现有三条12寸产线2026下半年全面达产,全年现有厂区技改新增6~7万片/月DRAM产能,主攻DDR5服务器内存;上海临港超级工厂下半年启动设备招标,远期规划月产能40~60万片,配套专属HBM3产线(2027年初量产),HBM产线干泵单价高于常规DRAM约30%,价值量弹性更强;公司IPO募资295亿元,其中超250亿元投向产线技改与新建,设备采购预算充足,国产替代优先采购中科仪产品,份额稳步上行。
3. 产能承接保障:公司IPO募资8.25亿元扩产干泵产能,新增年产2万台产能,自动化产线2026年逐步落地,产能释放节奏完美匹配双存储下半年扩产招标,无产能瓶颈制约订单落地。
三、核心催化二:华为昇腾全产业链下半年加速扩产,自上而下拉动设备采购
1. 昇腾算力扩产大背景:国产算力自主化提速,2026全年昇腾芯片出货同比高增
2026年昇腾950系列订单饱满,互联网大厂、政企算力集群集中备货,下半年超节点服务器批量落地,上游晶圆制造+先进封装同步加码资本开支,从代工端传导至真空设备采购。
2. 三层供应链绑定中科仪,间接+直接双重受益昇腾扩产
1)前道晶圆代工(中芯国际):中芯为昇腾950主力代工,中科仪批量供货中芯14nm产线干泵,中芯下半年针对昇腾芯片专项扩产,新增产线优先国产设备导入;
2)存储配套(长存+长鑫):昇腾服务器配套国产DDR5/HBM全部来自长鑫、长存,存储厂扩产本质就是昇腾算力上游配套产能建设;
3)设备厂间接配套:北方华创、中微、拓荆为昇腾产线刻蚀/沉积设备主力供应商,中科仪与上述设备龙头签订长期预装框架协议,设备出厂标配干泵,随整机批量进入昇腾上下游产线,形成稳定间接供货通道。
3. 先进封装增量:昇腾Chiplet化带动封测真空需求
昇腾采用2.5D堆叠架构,盛合晶微等国内封测厂下半年扩建HBM/算力芯片封装产线,先进封装腔体对超高真空要求严苛,对应干泵新增需求持续落地,开辟公司第二成长增量曲线。
四、业绩测算与价值兑现展望
1. 存量基本盘:存量产线维保、备品备件年稳定创收0.5~0.8亿元,现金流稳健;
2. 2026下半年增量:长存三期+长鑫技改合计带来新增订单3亿元以上,叠加昇腾产业链配套增量,预计下半年干泵营收同比增速超40%;
3. 长期价值:国内干泵国产替代空间广阔,当前国产渗透率不足20%,AI算力+存储持续高景气驱动渗透率每年提升2~3pct;海外方面产品已通过台积电、SK海力士验证小批量出货,后续逐步从样品走向批量供货,打开全球成长天花板。
五、风险提示
1. 存储下游终端需求不及预期、两大存储扩产进度延后;
2. 昇腾终端客户资本开支收缩、晶圆厂设备采购放缓;
3. 海外厂商降价挤压国产替代份额。
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