超纯水（Ultra-Pure Water, UPW）指电阻率达 18.2 MΩ·cm（25℃）、杂质含量趋近理论极限的高洁净水体，是半导体晶圆制造、光伏电池、面板显示等精密制造业不可替代的工艺耗材。2024 年中国电子工业超纯水市场规模约 120 亿元，半导体需求占比 45%；预计 2025 年中国半导体用超纯水系统市场规模突破 350 亿元，CAGR 10%+。全球角度，RO+EDI 超纯水系统市场 2025 年约 12.23 亿美元，2032 年有望增至 17.16 亿美元，CAGR 约 4.96%。
半导体级超纯水全产业链A股上市公司（18.2MΩ·cm电子级纯水，分三大赛道）
半导体超纯水是晶圆清洗、光刻、蚀刻必备原料，整条产业链分为成套系统总包（整厂纯水站）、核心膜耗材、离子抛光树脂三大板块，按业务纯正度排序：
一、中游：超纯水系统EPC总包（整厂设备交付，最正宗半导体标的）
1. 至纯科技（603690）
国内半导体高纯流体龙头，核心业务包含12英寸先进制程超纯水整站总包，配套中芯、华虹、长鑫存储；同时配套湿法清洗设备，半导体纯水业务营收占比高，成熟/先进制程全覆盖，国产市占第一梯队。
2. 三达膜（688101）
可提供半导体超纯水一体化解决方案（RO+EDI+抛光），覆盖8/12英寸晶圆厂、面板厂，兼具膜组件自产+工程总包，配套头部存储、功率半导体工厂，同步做芯片废水资源化回收。
3. 中电环保（300182）
电子级超纯水工程总包，承接各地半导体产业园纯水、废水分包项目，侧重成熟制程、化合物半导体产线配套。
4. 盛剑环境（603327）
洁净室+超纯水一体化配套，服务新建高端晶圆、封装工厂，纯水系统与洁净排风协同交付。
5. 有研硅（688432）
旗下高频科技为国内纯半导体超纯水龙头（14nm先进制程纯水成套设备），有研硅持有股权，高频科技客户覆盖中芯、长鑫，半导体水处理业务占比超80%。
二、上游核心耗材1：半导体反渗透RO膜（超纯水第一道核心过滤）
1. 沃顿科技（000920）
国内唯一量产半导体干式RO膜，打破日本东丽、陶氏垄断；UE系列适配7/5nm先进制程，通过中芯、长江存储、长鑫全产线认证，是超纯水刚需核心耗材，同时供货AI液冷净化膜。
2. 碧水源（300070）
通用反渗透、超滤膜，可配套普通成熟制程纯水站，以工业纯水为主，高端半导体干式膜仍处验证阶段。
3. 津膜科技（300172）
中空纤维超滤膜，仅用于纯水预处理，高端电子级业务体量很小，偏概念。
三、上游核心耗材2：电子级抛光离子交换树脂（产出18.2MΩ·cm超纯水关键）
1. 蓝晓科技（300487）
国产电子级抛光树脂龙头，EP系列半导体专用螯合/抛光树脂，去除水中微量金属、硼杂质，适配14nm及以下先进制程，头部晶圆厂批量采购，电子树脂毛利率超54%。
2. 争光股份（301092）
布局半导体均粒抛光树脂，荆门基地量产电子级纯水树脂，逐步导入晶圆厂供应链，国产替代加速。
四、配套辅助企业（末端过滤、药剂、水质检测）
1. 科净源（301372）
超纯水末端精密过滤设备，去除水中纳米颗粒，提升芯片良率。
2. 清水源（300437）
超纯水专用阻垢、净化药剂，保障纯水系统长期稳定运行。
3. 泰林生物（300813）
纯水在线水质检测仪器，用于半导体产线水质实时监控。
风险提示
1. 成套设备企业订单周期长，回款较慢；膜、树脂耗材为持续消耗品，业绩稳定性更强。
2. 部分公司半导体纯水仅为细分副业，整体营收占比偏低；先进制程高端膜、树脂仍有海外替代竞争压力。
3. 以上仅产业链信息梳理，不构成投资建议。
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