滨化半导体关键材料双突破

7月19日，滨化集团在高端半导体材料领域取得两项重大技术突破：
6N级高纯氟化氢气体​
技术地位：纯度达99.9999%（6N级），打破国际垄断，填补山东省产能空白，技术达国际一流水平。
应用场景：用于半导体晶圆制造的干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺，实现制备-生产-分析-包装全闭环控制。
战略意义：增强我国半导体产业链自主供应能力。

超高纯电子级氢氟酸​
技术认证：获中国科学院院士张锁江等专家认可，关键技术达国际先进水平，产品指标优于SEMI-G5级。
研发背景：山东省重点研发计划项目，联合天津大学攻克纯化、吸附及充装技术瓶颈，实现稳定量产。
商业化进展：已导入14nm先进制程半导体客户，获行业头部企业认可。

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