据韩国The Elec消息，由于炼油及石化工厂开工率下降，导致二氧化碳产量大幅减少。通常情况下，半导体制造商与相关供应商各自都会储备两周二氧化碳用量，合计能维持一个月的库存量，但近期库存已经跌破一个月水平。高压高温下 CO₂变为超临界流体，兼具液体溶解能力 + 气体极低表面张力，能钻进纳米级深沟槽、通孔、高低落差结构内部。作用是清除刻蚀后光刻胶残渣、金属副产物、有机污染物、微小颗粒；芯片制程进入7nm及以下，或3D NAND等存储芯片层数不断增加，内部线路和沟槽极其微小。传统水洗或化学清洗因表面张力无法深入，而超临界CO₂能轻松渗透，彻底清除光刻胶残留、金属杂质和纳米颗粒。金宏气体：公司率先实现6N级别高纯CO₂稳定量产，自研双塔深度精馏提纯核心工艺，产品适配12英寸晶圆超临界清洗与先进封装。客户壁垒极高，已批量供货中芯国际、长鑫存储、台积电； 深度绑定 SK 海力士无锡工厂 TGCM 全气体总包服务。电子级高纯二氧化碳产能为2.6万吨/年。华特气体：高纯二氧化碳产品纯度稳定达到6N级别，客户覆盖国内头部晶圆厂（如中芯国际、长江存储等）及海外存储巨头，并通过了ASML认证；电子级高纯二氧化碳产能为1.9万吨/年。凯美特气：公司牵头参与制定《电子级二氧化碳》国家标准，具备5N至6N级的电子级高纯CO₂生产能力，产品已成功导入中芯国际、长江存储、华虹等国内头部晶圆厂；电子级高纯二氧化碳产能为1.5万吨/年。广钢气体：公司实现了5N级电子级CO₂的量产，并成为全球第二家、中国第一家商业化应用超临界二氧化碳工艺系统的提供商；电子级高纯二氧化碳产能1.2万吨/年，将新增产能3万吨。侨源股份：公司已实现5N级（99.999%）电子级CO₂量产，电子级高纯二氧化碳产能0.3万吨/年，将新增产能2万吨。和远气体：公司自研6N级提纯工艺，产品主要适配28nm成熟制程，面向湖北、江西等本地晶圆厂进行配套与小批量供货；电子级高纯二氧化碳产能0.2万吨/年。杭氧股份：国内深冷空分龙头，高纯 CO₂提纯、液化成套设备自研自产， 青岛物元半导体专用电子气站的5N 级电子 CO₂进入国内头部晶圆厂大宗供气体系。昊华科技：旗下西南化工院拥有PSA 变压吸附、复合相变吸收双核心碳捕集专利，全球三大 PSA 气体分离技术供应商之一，累计落地 70 余套 CO₂回收提纯成套装置。蜀道装备：公司拥有CO₂ 尾气捕集、分离、液化一体化总包装置， 电子级高纯 CO₂仅小批量试产、客户送样认证。菲达环保：自主研发低能耗相变吸收碳捕集成套装置，入选浙江首台套装备，在宁波钢铁落地万吨级 CCUS 中试项目，捕集率超 90%，仅能将烟气提纯至 99.9% 纯度。福斯达：公司主营深冷成套装备，具备完整CO₂捕集、分离、液化、精制冷箱全套设备设计制造能力。冰轮环境：公司核心赛道是 CO₂压缩、液化、深冷提纯成套低温装备，为国内 CCUS 项目核心设备供应商，自研 CO₂螺杆 / 离心压缩机、液化撬块，国内 75% 以上 CCUS 示范项目配套其机组，设备供货覆盖金宏气体、凯美特气等。兰石重装：公司主营大型压力容器、碳捕集成套塔器、CO₂干燥 / 分离模块化撬装设备、液态 CO₂大型存储球罐、超临界二氧化碳微通道换热器。富瑞特装：具备 CO₂增压、液化、低温储存成套设备制造能力。免责声明：本文仅为行业、题材、公司研究分享，不构成任何投资建议、交易指导或行情预测。市场有风险，投资需谨慎。作者声明： 本文转载自第三方，旨在提供资讯参考，并非证券推荐或投资建议。作者对内容的真实性、准确性不承担保证责任。本文不构成任何投资建议或证券推荐。截至发文日，作者与文中提及的标的不存在持仓关系。