主营业务1：光刻机整机整机五大分系统16个子系统全部自主研发，无外部外包环节，可实现定制化开发、稳定维保、成本管控。（1）I-line机型：2026年底交付首台i线阿尔法样机，2027年完成产线验证，2028年启动量产；i线最小CD达280nm（市面主流最高水平），套刻精度对标佳能，单机精度25nm、匹配精度20nm，产率达240WPH。（2）KrF机型：2027年底交付KrF阿尔法样机，2029年实现量产；KrF镜头计划2026年四季度完成。（3）ArF/ArFi机型：2029年完成ArF dry阿尔法样机交付，后续结合二期政府投资规划推进浸没式机型研发，预计2032年左右推进相关量产（注：这里ArF/ArFi机型的研发进度具有不确定性，不是因为研发设计能力不足，而是因为公司在核心元器件供应链不在优先供应体系）。
主营业务2：光学系统公司是目前市场上唯一可对外交付前道曝光系统的民营厂商，该领域处于相对垄断地位；产品定价为进口设备的80%，同时可提供定制化匹配、快速维保响应。光学加工采用委外模式，深度绑定上游供应链：镜片加工、镀膜等环节全部委外，公司负责提出设计指标、材料要求、加工方案，不投入重资产加工产线；镀膜设备目前以进口为主，由供应商牵头推进国产替代验证。
样机参观产能：现有厂房可以满足约10-15台i-line和10-12台KrF；i线单台定价约3300万，KrF单台定价约8000万，对应总产值不到20亿；ArF及后续机型产能纳入二期投资规划，暂未明确；目前正与地方政府洽谈，未来产能跟根据具体进展动态调整。
物镜测试台(配套光刻机)：主要用于光刻前系统地检查，其难度系数很高，精度比配套光刻机还要高，设备复杂度相当于0.6个光刻机整机，一台物镜测试台可配套几台光刻机；现场一台i-line物镜测试台已经完成；KrF物镜测试台已经安装了约60%-70%；
验证进展：目前1台i线样机可用于产线验证，已有明确验证客户，同时多家晶圆厂主动提出验证需求，当前瓶颈为样机交付能力；2027年全年用于产线验证，预计验证周期约半年，2027年年中可获得测试结果。
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