【MFC产业链】海外交期半年以上,国产替代斜率陡峭#??【21号】
中信建投电新#
1??#什么是MFC:MFC即质量流量控制器(Mass Flow Controller),主要用于刻蚀、薄膜沉积设备气体控制系统,直接决定其工艺精度和良率,#MFC占半导体设备价值量约2%,单价1.2-3万元/颗不等,2025年国内MFC市场规模约50-60亿元。
2??#日美绝对垄断且交期不断拉长、国产替代提速。竞争格局方面,目前国内MFC市场中,日本Horiba占比约 60%,美国MKS占比约20%,其余为日本Brooks、Fujikin,国内厂商中仅高凯技术、七星华创进展较快,先进制程领域几乎为零。#目前MFC厂商日本Horiba交货周期已接近1年,2025年MFC国产化率不足3%,预计26年将加速来到10%,27年进一步加速。
3??#相关标的:#
【高凯技术】MFC国产替代龙头,2021年做出国内首款半导体级压电式 MFC,打破日美垄断;已批量应用于 7nm 及以下先进制程前道设备;目前订单增速乐观,#交期排至半年以上,正加大力度解决供应链产出瓶颈,实现国产替代。
【
星源材质】压电陶瓷占MFC成本比重40%,收购#邦瓷电子为高凯独家供应商。压电陶瓷是唯一可实现毫秒级响应、微米/纳米/亚纳米级位移的方案,是高精度控制+腔体带载场景的最优选择,#也是目前限制MFC放量的核心材料,目前主要被京瓷等垄断。
其他标的、【
万讯自控(Brooks系压差式MFC】、【
先导基电】等
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中信建投电新团队# 张芷菡/朱玥
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